[發明專利]用于氣體傳輸系統的優化的防激活組件及其方法

無效

• 申請號: 201210134347.6
• 申請日: 2006-06-06
• 公開（公告）號: CN102654212A
• 公開（公告）日: 2012-09-05
• 發明（設計）人: 馬克·塔斯卡爾
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: F16K35/06
• 分類號: F16K35/06
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 李獻忠

1.一種耦合至等離子處理中心的輸入歧管的集成氣體棒，該集成氣體棒控制進入該輸入歧管中的工藝氣體的流動，包括：

氣體閥，可操作地耦合至該輸入歧管；

肘節臂，配置為位于肘節激活位置和肘節反激活位置之一；

上鎖機構，與該氣體閥耦合，該上鎖機構被配置為當鎖用于該上鎖機構時在沒有繞過鎖的情況下，阻止該肘節臂從該肘節反激活位置重新置位到該肘節激活位置；

肘節操作開關，耦合至該肘節臂；

壓力聯結器，用于接收壓縮氣體；

轉接頭配件，具有上配件、與該上配件相對的下配件、以及與該上配件、下配件均成直角的側配件，該側配件耦合至該壓力聯結器，該上配件耦合至該肘節操作開關，以及該下配件耦合至該氣體閥，該肘節臂設置在該肘節操作開關的上方，

其中當該肘節臂設置在該肘節激活位置內時，該肘節操作開關允許該壓縮氣體通過轉接頭配件到達該氣體閥，由此允許該壓縮氣體，當存在時，激活該氣體閥，從而允許該工藝氣體在該輸入歧管內流動，以及可替換地允許該壓縮氣體，當存在時，反激活該氣體閥，從而防止該工藝氣體在該輸入歧管內流動，

以及當該肘節臂處于反激活位置時，該肘節操作開關阻止該壓縮氣體通過該轉接頭配件到達該氣體閥，由此使得該肘節操作開關不管是否提供壓縮氣體都能夠間接阻止該工藝氣體在該歧管內流動。

2.根據權利要求1所述的集成氣體棒，其中該肘節操作開關被配置為當該肘節臂從該肘節激活位置移動到肘節反激活位置時，將該壓縮氣體從該氣體閥內部排出。

3.根據權利要求1所述的集成氣體棒，其中該上鎖機構包括：第一面板，具有空間，該肘節臂穿過該空間設置；第二面板，與第一面板耦合，該第二面板具有被配置為接收該鎖的鎖孔，其中當該鎖設置在該鎖孔內時，該肘節臂被阻止從該肘節反激活位置移動到該肘節激活位置。

4.根據權利要求3所述的集成氣體棒，其中該第一面板夾在該肘節操作開關與該肘節臂之間。

5.根據權利要求1所述的集成氣體棒，其中該氣體閥被用于等離子處理系統。

6.根據權利要求1所述的集成氣體棒，其中該氣體閥是用于等離子處理系統的氣體棒輸入閥。

7.根據權利要求1所述的集成氣體棒，其中該氣體閥是集成表面安裝閥。

8.根據權利要求1所述的集成氣體棒，進一步包括用于標示所述氣體閥的反激活狀態的掛簽機構。

9.根據權利要求1所述的集成氣體棒，其中包含該氣體閥、該肘節操作開關以及該肘節臂的組件以關于該輸入歧管垂直的方向安裝。