[發明專利]抽真空槽蓋裝置無效
| 申請號: | 201210133681.X | 申請日: | 2012-05-03 |
| 公開(公告)號: | CN103383978A | 公開(公告)日: | 2013-11-06 |
| 發明(設計)人: | 劉萬學;王月;孫勝;韓麗;張志;高洋;潘鑫可;李巖峰 | 申請(專利權)人: | 吉林慶達新能源電力股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 吉林省長春市新時代專利商標代理有限公司 22204 | 代理人: | 石岱 |
| 地址: | 136001 *** | 國省代碼: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 真空 裝置 | ||
技術領域
本發明涉及一種太陽能電池生產設備上的部件,具體的說是一種將太陽能電池生產設備槽位內產生的氣體抽走,使槽內達到真空狀態,保證反應良好,得到適合的方阻的抽真空槽蓋裝置。
背景技術
我國對太陽能電池的研究開發工作高度重視,計劃到2015年全國太陽能發電系統總裝機容量達到300兆瓦。春節后出臺的《新能源振興規劃》指出了2020年我國光伏發電的裝機容量規劃達到20GW,是原來《可再生能源中長期規劃》中1.8GW的11.11倍。
目前晶硅電池片隨著技術的提高和原輔材料的變化,電池片的效率逐漸提高,而市場上也形成了一種趨勢,大家也希望利用高效率的電池片生產大功率的太陽能電池板來發電。
?????想得到較高的效率,研究人員及業內工程技術人員都從高方阻和印刷高寬比上下工夫,通過改進原有真空抽泣裝置,保證增加的方阻可以達到很均勻的程度,進而提高整體轉換效率。
發明內容
本發明的目的是要提供一種抽真空槽蓋裝置,即通過這個裝置,可以保證槽位內各位置真空度的一致性及穩定性,進而達到各位置的電池片方阻提高的均勻性。
本發明的目的是這樣實現的,該裝置包括設置在制絨槽上的匯流罩和抽真空板,所述的匯流罩由梯形罩體和設置在梯形罩體上面的長方形頸部構成,所述抽真空板設置在梯形罩體和長方形頸部的連接處,所述的抽真空板帶有V形折彎結構,上面開有多個抽氣孔,所述長方形頸部的上蓋板上開有外接抽氣孔。
本發明具有以下優點和積極效果:
1、本發明通過在太陽能電池生產設備制絨槽位上設置匯流罩,可以保證槽位內各位置真空度的一致性及穩定性,進而達到各位置的電池片方阻提高的均勻性。
2、由于本發明采用了梯形罩體導流,帶有V形折彎結構的抽真空板,這樣就能保證反應槽內的氣體可以平穩、完全的抽到外聯的真空管道內,進而保證反應槽內的真空處于一個平穩的狀態,達到理想的目的。
附圖說明
圖1?是抽真空槽蓋裝置整體結構示意圖。
圖2是本發明圖1中A向投影結構圖。
圖3是本發明匯流罩斷面結構示意圖。
圖4是本發明圖3中抽真空板B向局部投影結構示意圖。
具體實施方式
由附圖1、2、3、4所示:該抽真空槽蓋裝置包括設置在制絨槽上的匯流罩1和抽真空板2,所述的匯流罩1由梯形罩體3和設置在梯形罩體3上面的長方形頸部4構成,所述抽真空板2設置在梯形罩體3和長方形頸部4的連接處,所述的抽真空板2帶有V形折彎結構,上面開有多個抽氣孔5(一般針對八槽道開十六個抽氣孔),此V形折彎結構的抽真空板2可以使抽氣均勻平穩,所述長方形頸部4的上蓋板6上開有外接抽氣孔7。
使用時,將外部的抽真空管道8與本裝置的外接抽氣孔7連接,這樣可以將匯流罩1內的氣體抽凈產生負壓真空,設備反應槽內產生的氣體就會順著梯形罩體3經過抽真空板2上的多個抽氣孔5匯流到頂部長方形頸部4,再經外接抽氣孔7完全的抽到外聯的真空管道8內,進而保證反應槽內的真空處于一個平穩的狀態,達到本發明的目的。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





