[發明專利]基于MEMS技術的鹽度檢測傳感器及其檢測方法

無效

• 申請號: 201210133581.7
• 申請日: 2012-05-03
• 公開（公告）號: CN102680499A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 黃慶安;韓磊;殷剛毅
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01N22/00
• 分類號: G01N22/00
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.?一種基于MEMS技術的鹽度檢測傳感器，其特征在于：該傳感器包括微波信號源（102）、環形電橋（101）、傳感電極（104）以及第一MEMS終端式微波功率傳感器（1031）和第二MEMS終端式微波功率傳感器（1032）；環形電橋（101）設有四個端口，即第一端口（1），第二端口（2），第三端口（3），第四端口（4）；?

微波信號源（102）連接到環形電橋（101）的第一端口（1），傳感電極（104）連接到環形電橋（101）的第二端口（2），第一MEMS終端式微波功率傳感器（1031）和第二MEMS終端式微波功率傳感器（1032）分別連接到環形電橋（101）的第三端口（3）和第四端口（4）。

2.?根據權利要求1所述的基于MEMS技術的鹽度檢測傳感器，其特征在于：第一MEMS終端式微波功率傳感器（1031）和第二MEMS終端式微波功率傳感器（1032）用于實現輸入微波信號和反射微波信號的功率值測量和比較。

3.?一種基于MEMS技術的鹽度檢測方法，其特征在于：該方法包括如下步驟：微波信號源（102）產生微波信號，并將微波信號通過第一端口（1）傳送到環形電橋（101），微波信號經環形電橋（101）分配后分別經過第二端口（2）和第四端口（4）傳送到傳感電極（104）和第二MEMS終端式微波功率傳感器（1032），由于傳感電極（104）感應到的不同濃度鹽溶液的等效并聯電阻和電容值不同，因此傳送到傳感電極（104）的微波信號的反射系數會隨著鹽溶液濃度的不同而改變，被傳感電極（104）反射回的微波信號再次經過環形電橋（101）通過第三端口（3）傳送到第一MEMS終端式微波功率傳感器（1031），通過比較第一MEMS終端式微波功率傳感器（1031）和第二MEMS終端式微波功率傳感器（1032）測量到的信號功率值實現鹽度值的檢測。