[發明專利]一種用于強流電子注分析儀的可移動極間距電子槍系統

有效

• 申請號: 201210132572.6
• 申請日: 2012-04-28
• 公開（公告）號: CN103376343A
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發明（設計）人: 阮存軍;李慶生;吳迅雷;李崇山;李彥峰
• 申請（專利權）人: 中國科學院電子學研究所
• 主分類號: G01R1/28
• 分類號: G01R1/28;H01J3/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種用于強流電子注分析儀的電子槍系統，包括一個主真空腔體(301)和位于該主真空腔體(301)內的電子槍，所述電子槍包括一個陽極(7)、一個陰極(8)和一個柵極(9)，所述主真空腔體(301)包括一個用于將所述陽極(7)引出所述主真空腔體(301)外的低壓饋電頭(17)，其特征在于：

所述主真空腔體(301)橫向水平安置；

所述電子槍系統還包括一個同心軸組件(302)，其水平插入所述主真空腔體(301)，并且，其一端位于所述主真空腔體(301)內，另一端延伸于所述主真空腔體(301)外；并且

所述陰極(8)和所述柵極(9)安裝在所述同心軸組件(302)上。

2.如權利要求1所述的強流電子注分析儀的電子槍系統，其特征在于，所述主真空腔體(301)的真空度為1×10^-6pa。

3.如權利要求2所述的用于強流電子注分析儀的電子槍系統，其特征在于，所述陽極(7)通過一個陽極固定裝置(303)固定于所述主真空腔體(301)的前端。

4.如權利要求2所述的用于強流電子注分析儀的電子槍系統，其特征在于，所述同心軸組件(302)用于使所述陰極(8)和所述柵極(9)分別沿同心軸組件(302)的軸向進行運動和定位。

5.如權利要求4所述的用于強流電子注分析儀的電子槍系統，其特征在于，所述主真空腔體(301)包括一個觀察窗(1)，其用于觀察和測量所述陰極(8)和柵極(9)的距離。

6.如權利要求4所述的用于強流電子注分析儀的電子槍系統，其特征在于，所述同心軸組件(302)包括陰極內同心軸(4)和柵極外同心軸(5)，所述陰極內同心軸(4)和所述柵極外同心軸(5)內外相套。

7.如權利要求6所述的用于強流電子注分析儀的電子槍系統，其特征在于，所述陰極內同心軸(4)位于主真空腔體(301)內的一端，用于安置所述陰極(8)；所述柵極外同心軸(5)位于主真空腔體(301)內的一端，用于安置所述柵極(9)。

8.如權利要求7所述的用于強流電子注分析儀的電子槍系統，其特征在于，所述陰極(8)通過一個陰極陶瓷環(10)固定于陰極內同心軸(4)，所述柵極(9)通過一個柵極陶瓷環(11)固定在柵極外同心軸(5)。

9.如權利要求6所述的用于強流電子注分析儀的電子槍系統，其特征在于，所述電子槍系統還包括一個光學平臺(305)，所述光學平臺(305)位于所述主真空腔體(301)的外部，且位于所述同心軸組件(302)的下方，用于支撐和定位所述同心軸組件(302)。

10.如權利要求9所述的用于強流電子注分析儀的電子槍系統，其特征在于，該光學平臺(305)包括陰極光學平臺(13)和柵極光學平臺(14)，其分別用于支撐所述陰極內同心軸(4)及柵極外同心軸(5)，并使之分別能在軸向進行水平移動，并且，所述陰極光學平臺(13)安裝在所述柵極光學平臺(14)之上。