[發明專利]一種自適應藍寶石長晶爐有效
| 申請號: | 201210132313.3 | 申請日: | 2012-04-28 |
| 公開(公告)號: | CN102703979A | 公開(公告)日: | 2012-10-03 |
| 發明(設計)人: | 羅慶波;吳云才;周國清 | 申請(專利權)人: | 浙江上城科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/20 | 分類號: | C30B29/20;C30B15/00;C30B35/00 |
| 代理公司: | 浙江杭州金通專利事務所有限公司 33100 | 代理人: | 吳輝輝 |
| 地址: | 314400 浙江省*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 自適應 藍寶石 長晶爐 | ||
1.一種自適應藍寶石長晶爐,包括
爐體,包含爐蓋和爐體底板的密閉容器;
坩堝,用于藍寶石晶體生長的容器;
保溫裝置,爐體內圍繞坩堝外周設置的保溫裝置,用于維持坩堝熱場;
加熱裝置,用于提供藍寶石生長所需熱量的裝置;
換熱裝置,包括設于坩堝底部的托座、與托座相連的換熱管以及提供換熱管中冷卻介質循環的壓縮機,換熱管爐外部分配有卡套機構,換熱管通過該卡套機構與爐體底板固定連接;
其特征在于所述卡套機構的卡套接頭和爐體底板之間設有一段密閉的彈性伸縮波紋管。
2.根據權利要求1所述的自適應藍寶石長晶爐,其特征在于所述彈性伸縮波紋管的一端設有用于密閉固接卡套接頭的連接塊,另一端設有用于密閉連接爐體底板的法蘭。
3.根據權利要求2所述的自適應藍寶石長晶爐,其特征在于所述連接塊底部設有容納卡套的環槽。
4.根據權利要求2所述的自適應藍寶石長晶爐,其特征在于所述法蘭和連接塊配有密封墊片。
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