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[發(fā)明專利]金屬刀模板電解蝕刻機(jī)有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201210130711.1 申請日: 2012-04-29
公開(公告)號: CN102628177A 公開(公告)日: 2012-08-08
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 周丁政 申請(專利權(quán))人: 常州正成機(jī)電科技有限公司
主分類號: C25F7/00 分類號: C25F7/00;B23H3/00
代理公司: 常州市天龍專利事務(wù)所有限公司 32105 代理人: 周建觀;張?jiān)?/td>
地址: 213133 江蘇省常*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 金屬 模板 電解 蝕刻
【權(quán)利要求書】:

1.一種金屬刀模板電解蝕刻機(jī),包括機(jī)架(1)、上電極(7)、下電極(8)和電解液收集槽(9),其中所述電解液收集槽(9)位于機(jī)架(1)上,所述下電極(8)位于電解液收集槽(9)中,其特征在于:

a、所述機(jī)架(1)上還移動配合有平移架(11),所述上電極(7)裝連在平移架(11)上,所述平移架(11)上且位于上電極(7)旁具有至少兩個出液器(7-1),所述出液器(7-1)的出液口均朝向上電極(7)的底部及底面下方的空間,平移架(11)移動時,上電極(7)和出液器(7-1)能夠從下電極(8)上方通過,

b、所述下電極(8)的上表面上設(shè)有絕緣的工件支撐件(8-1),工件支撐件(8-1)上具有液體過道(8-1-1),或者所述下電極(8)的上表面上設(shè)有若干個絕緣的工件支撐條,相鄰的工件支撐條之間的間隙構(gòu)成液體過道(8-1-1),

c、所述下電極(8)內(nèi)部或側(cè)面具有通往下電極上表面的液流通道(8-2),液流通道(8-2)與所述液體過道(8-1-1)連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬刀模板電解蝕刻機(jī),其特征在于:所述機(jī)架(1)上裝有平移架驅(qū)動裝置(12),平移架驅(qū)動裝置(12)傳動連接平移架(11),所述平移架(11)通過平移滑塊(13’)和平移導(dǎo)軌(13)與機(jī)架(1)移動配合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬刀模板電解蝕刻機(jī),其特征在于:所述平移架驅(qū)動裝置(12)包括伺服電機(jī)減速機(jī)(12-1)、鏈條(12-2)和鏈輪(12-3),其中伺服電機(jī)減速機(jī)(12-1)通過鏈輪(12-3)傳動連接鏈條(12-2),鏈條(12-2)與平移架(11)底部連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬刀模板電解蝕刻機(jī),其特征在于:所述平移架(11)上還裝有升降架(14)及其升降驅(qū)動裝置(15),所述上電極(7)和出液器(7-1)固定在升降架(14)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬刀模板電解蝕刻機(jī),其特征在于:所述工件支撐件(8-1)為板形并具有四周的平直部(8-1-2)和中部的沉陷部(8-1-3),沉陷部(8-1-3)底部具有若干柵欄條(8-1-4),柵欄條(8-1-4)之間的間隙構(gòu)成工件支撐件(8-1)的液體過道(8-1-1)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬刀模板電解蝕刻機(jī),其特征在于:所述平移架(11)上裝連有若干開口朝下的第一集氣支管(5-1),所述電解液收集槽(9)上方也有若干開口朝向電解液收集槽(9)內(nèi)的第二集氣支管(5-1’),?第一集氣支管(5-1)和第二集氣支管(5-1’)均通往集氣總管(5),所述電解液收集槽(9)上方還覆蓋有柔性集氣罩(18)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的金屬刀模板電解蝕刻機(jī),其特征在于:所述集氣總管(5)與集氣洗滌器(16)連通。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬刀模板電解蝕刻機(jī),其特征在于:還包括供液裝置(10)、電源裝置(2)和電控裝置(3),所述上電極(7)、下電極(8)和電控裝置(3)分別與電源裝置(2)電連接,供液裝置(10)與出液器(7-1)及下電極(8)的液流通道(8-2)連通。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的金屬刀模板電解蝕刻機(jī),其特征在于:所述供液裝置(10)包括輸液泵(10-1)、儲液箱(10-2)和輸液管(10-3),其中輸液泵(10-1)裝在儲液箱(10-2)上,輸液管(10-3)的一端與輸液泵(10-1)連通,另一端分別通往上電極(7)和下電極(8)處。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的金屬刀模板電解蝕刻機(jī),其特征在于:所述電解液收集槽(9)底部設(shè)有通向供液裝置(10)的儲液箱(10-2)的排液管(9-1),儲液箱(10-2)內(nèi)裝有換熱元件(4-1),換熱元件(4-1)連接到恒溫裝置(4),儲液箱(10-2)還與液體過濾裝置(6)相連接。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬刀模板電解蝕刻機(jī),其特征在于:所述上電極(7)的與平移架(11)移動方向平行的兩側(cè)均裝有擋液條(7-2),擋液條(7-2)的下端分別延伸到下電極(8)的相應(yīng)兩側(cè)處。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬刀模板電解蝕刻機(jī),其特征在于:所述下電極(8)上設(shè)有電磁鐵(19)或永久磁鐵。

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