[發明專利]一種基于聲光調制的微懸臂梁陣列生化傳感方法及裝置

有效

• 申請號: 201210129880.3
• 申請日: 2012-04-27
• 公開（公告）號: CN102645529A
• 公開（公告）日: 2012-08-22
• 發明（設計）人: 張青川;張勇;鄔林;程騰
• 申請（專利權）人: 南京中迅微傳感技術有限公司
• 主分類號: G01N33/53
• 分類號: G01N33/53;G01B11/16;G01K11/00
• 代理公司: 南京天翼專利代理有限責任公司 32112
• 代理人: 朱戈勝

1.一種基于聲光調制的微懸臂梁陣列生化傳感方法，其特征是步驟包括：

先利用聲光偏轉器驅使激光器發射出來的激光束產生周期性偏轉，用該周期性偏轉的激光束來掃描微梁陣列；

再通過光杠桿原理將微梁陣列中各微梁的彎曲變形信號放大；

然后用光電位置敏感探測器PSD時序接收檢測所述放大后的彎曲形變信號，從而實時監測各微梁上的生化反應過程信息。

2.根據權利要求1所述的基于聲光調制的微懸臂梁陣列生化傳感方法，其特征是所述聲光偏轉器是聲光調制器。

3.一種使用權利要求1或2所述方法的裝置，其特征是包括激光器、聲光調制器、生化反應池、微梁陣列、光電位置敏感探測器PSD和監測單元；

所述聲光調制器在激光器發出的準直激光束的光路上；

所述微梁陣列在生化反應池內，微梁陣列在調整聲光調制器的出射光的光路上；所述光電位置敏感探測器PSD靶面在微梁陣列的反射光的光路上；所述光電位置敏感探測器PSD的信號輸出端連接監測單元的信號輸入端；

所述聲光調制器包括聲光介質和壓電換能器；所述壓電換能器接收載波頻率信號后產生相同頻率的超聲波傳入聲光介質；所述準直激光束經過聲光介質后產生折射后得到出射光。

4.根據權利要求3所述裝置，其特征是所述載波頻率信號為超聲波。

5.根據權利要求3所述裝置，其特征是還包括反光鏡，反光鏡位于聲光調制器和微梁陣列之間的光路上；聲光調制器的出射光經反光鏡反射后射到微梁陣列上。