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[發(fā)明專利]用于裝配電機的耐磨導條及其制備方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201210129790.4 申請日: 2012-04-27
公開(公告)號: CN102664496A 公開(公告)日: 2012-09-12
發(fā)明(設計)人: 甄洪賓 申請(專利權)人: 賽屋(天津)涂層技術有限公司
主分類號: H02K15/00 分類號: H02K15/00;C23C8/24;C23C14/35;C23C14/18;C23C12/02;C23C28/00
代理公司: 天津盛理知識產權代理有限公司 12209 代理人: 王來佳
地址: 300308 天津市東麗區(qū)*** 國省代碼: 天津;12
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 裝配 電機 耐磨 及其 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種用于裝配電機的耐磨導條,包括定位部以及摩擦部,定位部由摩擦部延伸一體制出,其特征在于:在摩擦部的外表面上均勻噴涂有類金剛石薄膜。

2.根據權利要求1所述的用于裝配電機的耐磨導條,其特征在于:所述的類金剛石薄膜從內層至外層分別包括基體滲氮層、鉻擴散過渡層、碳、氮的富鉻混合層以及類金剛石涂層,基體滲氮層的厚度為20~100nm,鉻擴散過渡層的厚度為350~800nm,碳、氮的富鉻混合層的厚度為100~300nm,類金剛石涂層的厚度為1000~1800nm,含N量<10%。

3.一種如權利要求1所述的用于裝配電機的耐磨導條的制備方法,其特征在于:該制備方法包括的步驟如下:

(1)、開啟設備:將現有的導條處理后露出摩擦部放入真空室內的轉盤上,關閉真空室,使真空室壓力為10e-2帕,開始升溫,并保持溫度在70~200℃;繼續(xù)抽真空至小于6×10e-3帕為止;啟動轉盤,轉盤轉速1-3轉/分鐘;

(2)、導條的清洗刻蝕:通入2~5標況毫升每分的氬氣,使真空室內壓力達到0.1~0.6帕;打開負偏壓電源,對導條施加負偏壓-500~-1000伏;然后打開離子源,電壓900~2000伏,電流80~180毫安,;時間10~20分鐘;

(3)、抽氣:關閉負偏壓電源、離子源以及氬氣,抽真空至小于6×10e-3帕;

(4)、基體滲氮層沉積:通入1~2標況毫升每分的氮氣,保持真空度0.1~0.6帕,開啟負偏壓電源,-2000伏,然后開啟離子源電壓900~2000伏,時間30~60分鐘后,關閉離子源、負偏壓電源以及氮氣形成基體滲氮層;

(5)、鉻擴散過渡層沉積:通入10~30標況毫升每分的氬氣,至真空度0.5~1.3帕,開啟負偏壓電源至-500~-1000伏,開啟磁控鉻靶電源,電流3~6安,時間30~100分鐘后,關閉氬氣、磁控鉻靶電源以及負偏壓電源形成鉻擴散過渡層;

(6)、碳、氮的富鉻混合層沉積:同時通入10~30標況毫升每分的乙炔氣以及3-8標況毫升每分的氮氣,真空度保持在0.2~0.6帕,開啟負偏壓電源-1000~-1500伏,開啟離子源,電壓1000~2000伏,沉積時間40~90分鐘,形成碳、氮的富鉻混合層;

(7)、類金剛石涂層沉積:降低50%的氮氣流量,繼續(xù)沉積,時間80~100分鐘;關閉氮氣,繼續(xù)沉積60分鐘,形成類金剛石涂層;

(8)、保養(yǎng):關閉所有氣體,負偏壓電源以及離子源電源,保持抽真空,控制真空度在103帕,10~30分鐘,得到用于裝配電機的耐磨導條。

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