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[發明專利]一種超材料的加工方法有效

專利信息
申請號: 201210127782.6 申請日: 2012-04-27
公開(公告)號: CN102689872A 公開(公告)日: 2012-09-26
發明(設計)人: 劉若鵬;欒琳;郭潔;楊宗榮 申請(專利權)人: 深圳光啟創新技術有限公司
主分類號: B81C1/00 分類號: B81C1/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 518034 廣東省深圳市福田*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 材料 加工 方法
【權利要求書】:

1.一種超材料的加工方法,其特征在于,包括以下步驟:

101.設計人造微結構,利用化學蝕刻工藝或電鍍工藝,得到具有預定排列規律的銅人造微結構板材;

102.將所述銅人造微結構板材涂覆一層抗電鍍干膜,打磨所述抗電鍍干膜至露出所述銅人造微結構的上表面;

103.將所述銅人造微結構的上表面電鍍一層與之相同的所述銅人造微結構,得到具有預定厚度的所述超材料。

2.根據權利要求1所述超材料的加工方法,其特征在于,重復步驟102和103至所述超材料的銅人造微結構整體達到預定厚度。

3.根據權利要求1所述超材料的加工方法,其特征在于,步驟101中,所述銅人造微結構板材的銅厚度為3-12μm。

4.根據權利要求1所述超材料的加工方法,其特征在于,步驟101中,所述銅人造微結構的預定排列規律為周期性陣列排布。

5.根據權利要求1所述超材料的加工方法,其特征在于,步驟102中,所述抗電鍍干膜的厚度為75-110μm。

6.根據權利要求1所述超材料的加工方法,其特征在于,步驟102中,所述抗電鍍干膜的光致抗蝕層厚度為25-50μm。

7.根據權利要求1所述超材料的加工方法,其特征在于,步驟103中,所述超材料的銅人造微結構層預定厚度為10-80μm。

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