[發明專利]一種控制太陽能電池組件電學性能低下及外觀缺陷的方法

無效

• 申請號: 201210127765.2
• 申請日: 2012-04-27
• 公開（公告）號: CN102628164A
• 公開（公告）日: 2012-08-08
• 發明（設計）人: 尹晶晶;黃躍龍;王穎;張惠霞;王光輝;王達;高錦成;馬云祥;周剛
• 申請（專利權）人: 保定天威薄膜光伏有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/52;H01L31/18
• 代理公司: 唐山順誠專利事務所 13106
• 代理人: 于文順

1.一種控制太陽能電池組件電學性能低下及外觀缺陷的方法，其特征在于：根據鍍膜襯底在LPCVD設備腔室等待的位置及時間不同對TCO膜層的影響不同，分別進行控制；根據鍍膜襯底在預加熱腔室中等待時，鍍膜襯底的溫度變化進行不同處理；當鍍膜襯底在工藝反應腔室發生等待時，根據鍍膜襯底所處的腔室的不同，進行不同的處理。

2.根據權利要求1所述之一種控制太陽能電池組件電學性能低下及外觀缺陷的方法，其特征在于所述的根據鍍膜襯底在預加熱腔室中等待時，鍍膜襯底的溫度變化進行不同處理，具體的工藝步驟如下：

當鍍膜襯底在預加熱腔室等待溫度超出工藝控制值+10℃時做報廢處理，當鍍膜襯底的溫度超出工藝控制值低于+10℃時，則鍍膜襯底進行后續工藝；當鍍膜襯底溫度低于工藝控制值-5℃時，則對鍍膜襯底重新進行工藝處理。

3.根據權利要求1或2所述之一種控制太陽能電池組件電學性能低下及外觀缺陷的方法，其特征在于所述的當鍍膜襯底在工藝反應腔室發生等待時，根據鍍膜襯底所處的腔室的不同，進行不同的處理，具體的工藝步驟如下：

a．當鍍膜襯底在預加熱后的第一個工藝反應腔室發生等待時間超出5min時，對鍍膜襯底進行報廢處理，等待時間小于5min時，繼續進行后續工藝；

b.?當鍍膜襯底在預加熱后的第二個或第n個工藝反應腔室發生等待時間超出30min時，對鍍膜襯底進行報廢處理，等待時間小于30min時，繼續進行后續工藝，n>2；當鍍膜襯底在預加熱后的第二個或第n個工藝反應腔室發生等待時，由于熱量散失較慢，對TCO膜層的生產影響相對較小，所以當等待時間超出30min時，對鍍膜襯底進行報廢處理，等待時間小于30min時，繼續進行后續工藝。

4.根據權利要求1或2所述之一種控制太陽能電池組件電學性能低下及外觀缺陷的方法，其特征在于所述太陽能組件為硅基薄膜太陽能電池組件。