[發(fā)明專利]一種觸針式輪廓儀傳感器非線性誤差的校正方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210125998.9
• 申請日: 2012-04-26
• 公開（公告）號: CN102654395A
• 公開（公告）日: 2012-09-05
• 發(fā)明（設計）人: 衷穎杰;常素萍;謝鐵邦;盧文龍
• 申請（專利權(quán)）人: 華中科技大學
• 主分類號: G01B21/20
• 分類號: G01B21/20
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 朱仁玲

1.一種觸針式輪廓儀傳感器非線性誤差的校正方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)調(diào)整輪廓儀傳感器的位置，使其觸針與垂直微位移工作臺的工作面相接觸；

(2)確定垂直微位移工作臺在垂直方向上運動的距離Y以及采樣間距y；

(3)通過計算機和控制箱后發(fā)出信號1、2、...、n來控制垂直微位移工作臺的電機轉(zhuǎn)動，電機帶動垂直微位移工作臺上下運動，從而帶動輪廓儀傳感器的觸針運動，其中n＝Y(jié)/y；

(4)垂直微位移工作臺上的激光測距儀分別根據(jù)信號1、2、...、n測量垂直微位移工作臺在垂直方向上相對于初始位置的位移量y₁、...、y_n，同時輪廓儀傳感器的計量系統(tǒng)分別根據(jù)信號1、2、...、n測量輪廓儀傳感器的觸針在垂直方向上相對于初始位置的位移值y₁’、...、y_n’；

(5)將兩組數(shù)據(jù)y₁、y₂......y_n以及y₁’、y₂’......y_n’以一一對應的方式保存在垂直方向的誤差查找表中；

(6)取下垂直微位移工作臺，并將楔形斜塊放置在水平工作臺上；

(7)調(diào)整輪廓儀傳感器的位置，使其觸針與楔形斜塊的斜面相接觸；

(8)確定水平工作臺在水平方向上運動的距離X以及采樣間距x；

(9)通過計算機和控制箱后發(fā)出信號1’、2’、...、n’來控制水平工作臺的電機轉(zhuǎn)動，電機帶動水平工作臺水平運動，從而帶動楔形斜塊和傳感器的觸針運動，其中n’＝X/x；

(10)水平工作臺上的激光測距儀分別根據(jù)信號1’、2’、...、n’測量水平工作臺在水平方向上相對于初始位置的位移量X₁’、...、X_n’，同時輪廓儀傳感器的計量系統(tǒng)分別根據(jù)信號1’、2’、...、n’測量輪廓儀傳感器的觸針在垂直方向上相對于初始位置的位移值A(chǔ)₁’、...、A_n’；

(11)判斷A₁是否和步驟(4)中得到的位移值y₁’、y₂’......y_n’中的一個數(shù)值y_i’相等，若相等，則將A₁’更新為y_i’在垂直方向的誤差查找表中對應的y_i，若不相等，則進一步確定A₁位于y₁’、y₂’......y_n’中哪兩個相鄰的數(shù)值之間，若y_j’＜A₁’＜y_j+1’，則將A₁更新為y_j+1’在垂直方向的誤差查找表中對應的y_j+1；

(12)對于剩下的A₂’、...、A_n’，重復上述步驟(11)，直到全部位移值均已被更新為在垂直方向的誤差查找表中對應的位移值為止。

(13)利用公式x_n’＝A_n’×b計算觸針在水平方向上的實際移動量x₁、...、x_n’，其中b為楔形斜塊的長高比；

(14)將兩組數(shù)據(jù)x₁、x₂......x_n和x₁’、x₂’......x_n’以一一對應的方式保存在水平方向的誤差查找表中。