[發(fā)明專(zhuān)利]用于粒子光學(xué)鏡筒的鏡筒內(nèi)檢測(cè)器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210125537.1
• 申請(qǐng)日: 2012-04-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102760628A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-10-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: L.圖馬;P.哈拉文卡;P.西塔爾;R.塞斯卡;B.塞達(dá)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: FEI公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01J37/244
• 分類(lèi)號(hào): H01J37/244;G01T1/20
• 代理公司: 中國(guó)專(zhuān)利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 王岳;李家麟

1.一種帶電粒子鏡筒，包括：

·?帶電粒子源，用于產(chǎn)生帶電粒子束（100），

·?樣本載體（104），用于對(duì)樣本（102）保持和定位，

·?物鏡，用于將所述帶電粒子束聚焦于所述樣本上，所述物鏡具有：

??????○?第一（106）和第二（108）電極，用于生成聚焦靜電場(chǎng)，所述第一電極定位于所述第二電極與所述樣本載體之間，以及

??????○?第一和第二極靴，用于生成聚焦磁場(chǎng)，所述第一極靴定位于所述第二極靴與所述樣本載體之間，

??????○?所述靜電場(chǎng)和所述磁場(chǎng)示出重疊，

·?檢測(cè)器，在所述第一電極的源側(cè)，用于檢測(cè)帶電粒子，所述檢測(cè)器示出對(duì)帶電粒子敏感的表面，

其特征在于：

·?所述第二電極在所述第二極靴與所述樣本載體之間示出與所述樣本載體相向的電極表面，所述電極表面示出用于傳送所述帶電粒子束的鉆孔（306），并且

·?所述敏感表面（110）形成所述電極表面的至少部分。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子鏡筒，其中所述第二電極（108）的至少部分定位于第一與第二磁極靴之間，并且所述第一磁極靴與所述第一電極（106）重合。

3.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的帶電粒子鏡筒，其中所述敏感表面為閃爍體，并且所述檢測(cè)器還包括光子檢測(cè)器（202，412）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的帶電粒子鏡筒，其中所述光子檢測(cè)器（202，412）包括光電二極管、雪崩光電二極管（APD）、蓋革模式APD、多像素光子檢測(cè)器、CMOS器件、CCD器件或者PMT。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或者權(quán)利要求4所述的帶電粒子鏡筒，其中所述檢測(cè)器包括用于將所述閃爍體產(chǎn)生的所述光子引向所述光子檢測(cè)器（202，412）的光導(dǎo)（204，404）。

6.根據(jù)權(quán)利要求3-5中的任一權(quán)利要求所述的帶電粒子鏡筒，其中所述檢測(cè)器被配備成用關(guān)于所述樣本（102）處于高電勢(shì)的所述第二電極的面操作以吸引從所述樣本發(fā)出的帶電粒子，并且所述光子檢測(cè)器（202，412）以地電勢(shì)操作。

7.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的帶電粒子鏡筒，其中所述帶電粒子源為電子源而所述帶電粒子束（100）為電子束。

8.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的帶電粒子鏡筒，其中所述鏡筒還包括在所述第二電極以?xún)?nèi)的無(wú)場(chǎng)區(qū)域中的又一帶電粒子檢測(cè)器。

9.一種帶電粒子裝置，包括根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的帶電粒子鏡筒。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或者權(quán)利要求9所述的帶電粒子裝置，其中在所述閃爍體上撞擊的所述帶電粒子至少部分為由轉(zhuǎn)換電極發(fā)射的電子，所述電子由在所述轉(zhuǎn)換電極上撞擊的正或者負(fù)離子和/或電子引起。

11.一種檢測(cè)從樣本出現(xiàn)的次級(jí)和/或反向散射電子的方法，所述方法包括：

·?在樣本位置上提供樣本（102），

·?提供產(chǎn)生帶電粒子束（100）的帶電粒子鏡筒，所述鏡筒配備有將所述帶電粒子束聚焦于所述樣本上的物鏡，所述物鏡具有用于生成聚焦靜電場(chǎng)的在所述樣本附近的第一電極（106）和從所述樣本移開(kāi)更多的第二電極（108），所述物鏡具有用于生成磁聚焦場(chǎng)的在所述樣本附近的第一極靴和從所述樣本移開(kāi)更多的第二極靴，所述靜電聚焦場(chǎng)和所述磁聚焦場(chǎng)示出重疊，

·?在所述第一電極的與所述樣本相反的一側(cè)提供帶電粒子檢測(cè)器，

·?向所述帶電粒子檢測(cè)器加速?gòu)乃鰳颖荆?02）發(fā)出的次級(jí)帶電粒子，所述帶電粒子檢測(cè)器示出帶電粒子敏感表面，

其特征在于：

·?第二電極在所述第二極靴與所述樣本載體之間示出與所述樣本載體相向的電極表面，所述電極表面示出用于傳送所述帶電粒子束的鉆孔（306），并且

·?所述敏感表面（110）形成所述電極表面的至少部分。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中所述敏感表面（110）為閃爍體，并且所述方法還包括使用光子檢測(cè)器（112）來(lái)檢測(cè)由于帶電粒子撞擊在所述閃爍體上而由閃爍體發(fā)射的光子。

13.根據(jù)權(quán)利要求11或者12中的任一權(quán)利要求所述的方法，其中所述次級(jí)帶電粒子為電子。