[發(fā)明專利]用于將平面設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)換為FinFET設(shè)計(jì)的系統(tǒng)和方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210125531.4
• 申請(qǐng)日: 2012-04-25
• 公開（公告）號(hào): CN102779201A
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林以唐;李焯基;陳姝妤;張祐寧;陳小惠;張智勝;陳建文;萬(wàn)幸仁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): G06F17/50
• 分類號(hào): G06F17/50
• 代理公司: 北京德恒律師事務(wù)所 11306
• 代理人: 陸鑫;房嶺梅

1.一種生成FinFET結(jié)構(gòu)布局的方法，包括：

接收用于集成電路(IC)設(shè)計(jì)的平面結(jié)構(gòu)布局，所述平面結(jié)構(gòu)布局包括多個(gè)平面有源區(qū)域；

生成多個(gè)FinFET有源區(qū)域，所述多個(gè)FinFET有源區(qū)域與所述多個(gè)平面有源區(qū)域相對(duì)應(yīng)；

對(duì)于每個(gè)FinFET有源區(qū)域，使用FinFET有源區(qū)域?qū)挾扰c平面有源區(qū)域?qū)挾鹊闹付▽挾缺扔?jì)算最優(yōu)FinFET有源區(qū)域?qū)挾龋灰约?/p>

根據(jù)所述最優(yōu)FinFET有源區(qū)域?qū)挾龋诿總€(gè)FinFET有源區(qū)域中生成芯軸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，F(xiàn)inFET有源區(qū)域?qū)挾扰c平面有源區(qū)域?qū)挾鹊乃鲋付▽挾缺葹?.9。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，根據(jù)所述最優(yōu)FinFET有源區(qū)域?qū)挾仍诿總€(gè)FinFET有源區(qū)域中生成芯軸包括：在每個(gè)FinFET有源區(qū)域中生成多個(gè)芯軸，使得所述FinFET有源區(qū)域?qū)挾雀咏鲎顑?yōu)FinFET有源區(qū)域?qū)挾取?/p>

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，F(xiàn)inFET有源區(qū)域?qū)挾扰c平面有源區(qū)域?qū)挾鹊乃鲋付▽挾缺扔捎贔inFET有源區(qū)域?qū)щ婎愋投煌?/p>

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括：

輸出用于所述IC設(shè)計(jì)的FinFET結(jié)構(gòu)布局。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括：檢查設(shè)計(jì)規(guī)則以避免任何空間上的違規(guī)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括：

確定用于FinFET有源區(qū)域的貝塔數(shù)；

確定用于平面有源區(qū)域的貝塔數(shù)，所述平面有源區(qū)域與所述FinFET有源區(qū)域相對(duì)應(yīng)；以及

調(diào)節(jié)所述FinFET有源區(qū)域中的芯軸，使得所述FinFET有源區(qū)域的貝塔數(shù)與所述平面有源區(qū)域的貝塔數(shù)的貝塔比在預(yù)定的最優(yōu)貝塔比范圍內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，所述預(yù)定的最優(yōu)貝塔比范圍為大約0.85至大約1.15。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，所述預(yù)定的最優(yōu)貝塔比范圍為大約1.05。

10.一種生成FinFET結(jié)構(gòu)布局的方法，包括：

接收用于IC設(shè)計(jì)的平面結(jié)構(gòu)布局，所述平面結(jié)構(gòu)布局包括多個(gè)平面有源區(qū)域；

生成多個(gè)FinFET有源區(qū)域，所述多個(gè)FinFET有源區(qū)域與多個(gè)平面結(jié)構(gòu)有源區(qū)域相對(duì)應(yīng)；

在所述多個(gè)FinFET有源區(qū)域的每一個(gè)中生成芯軸；

對(duì)于每個(gè)FinFET有源區(qū)域，計(jì)算FinFET有源區(qū)域?qū)挾认鄬?duì)于用于對(duì)應(yīng)平面有源區(qū)域的平面有源區(qū)域?qū)挾鹊膶挾缺龋灰约?/p>

如果所計(jì)算的寬度比小于指定的寬度比，則優(yōu)化每個(gè)FinFET有源區(qū)域中的芯軸。