[發明專利]一種硅片周轉裝運托盤

無效

• 申請號: 201210125413.3
• 申請日: 2012-04-25
• 公開（公告）號: CN102629565A
• 公開（公告）日: 2012-08-08
• 發明（設計）人: 陳建;劉健;付振東
• 申請（專利權）人: 江蘇兆晶光電科技發展有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 周祥生;尹麗

1.一種硅片周轉裝運托盤，它包括托板(1)和連體腳柱(6)，托板(1)為長方形木質板，連體腳柱(6)固定在托板(1)的下端，位于托板(1)的邊角端，其特征是：連體腳柱(6)由支撐腳柱(61)和連接板(62)連接成一個整體，呈一個倒“山”形狀，支撐腳柱(61)的形狀大小與一般的支撐腳相當，連接板(62)的長度與托板(1)的寬度邊長度相當，其厚度與托板(1)的厚度相當。

2.根據權利要求1所述的硅片周轉裝運托盤，其特征是：所述連體腳柱(6)的數量為2個以上。

3.根據權利要求1所述的硅片周轉裝運托盤，其特征是：所述連體腳柱(6)上的支撐腳柱(61)的數量為2個以上。