[發明專利]太陽能電池板非晶硅膜均勻沉積專用裝置

有效

• 申請號: 201210124107.8
• 申請日: 2012-04-26
• 公開（公告）號: CN102534566B
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 周慶明
• 申請（專利權）人: 江蘇慶豐能源有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/24;H01L31/18
• 代理公司: 淮安市科文知識產權事務所32223
• 代理人: 謝觀素

1.一種太陽能電池板非晶硅膜均勻沉積裝置，包括:

一不銹鋼上方通管(2)，所述上方通管(2) 橫截面呈上、中、下三層空間；

一不銹鋼下方通管(3)，所述下方通管(3) 橫截面呈上、下兩層空間；

一中心鋁電極板(4)，所述中心鋁電極板(4) 的一端安裝有一銅質電極桿(10) ；

兩塊鋁質門板(5)，所述鋁質門板(5) 安裝于裝置兩側；

兩塊堵頭板(11)，所述堵頭板(11) 分別安裝于裝置兩端；

其特征在于：所述上方通管(2) 和所述下方通管(3) 的內端與裝置內待加工的電池片(17) 放置區域之間均設有一金屬板(12)，所述金屬板（12）固定連接在所述鋁質門板(5)上，所述金屬板(12) 的厚度與裝置內電池片(17) 厚度一致；

所述中心鋁電極板(4)周圍套有呈“U”形槽的聚四氟乙烯邊條。

2.根據權利要求1 所述的太陽能電池板非晶硅膜均勻沉積裝置，其特征在于：所述金屬板與待加工的電池片之間的間隙小于1 毫米。

3.根據權利要求1 或2 所述的太陽能電池板非晶硅膜均勻沉積裝置，其特征在于：所述上方通管(2) 和所述下方通管(3) 的內端邊緣分別與所述金屬板的邊緣貼合于一起。