[發(fā)明專利]多光束陣列光誘導(dǎo)反射率成像裝置及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210123617.3
• 申請(qǐng)日: 2012-04-25
• 公開（公告）號(hào): CN102721673A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳周令;陳堅(jiān)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吳周令
• 主分類號(hào): G01N21/63
• 分類號(hào): G01N21/63
• 代理公司: 合肥天明專利事務(wù)所 34115
• 代理人: 金凱

1.多光束陣列光誘導(dǎo)反射率成像裝置，包括泵浦光源、探測(cè)光源、光電探測(cè)器、與泵浦光源和探測(cè)光源對(duì)應(yīng)的樣品臺(tái)，其特征在于：從泵浦光源至樣品臺(tái)之間依次設(shè)置有泵浦光衍射分光裝置、陣列調(diào)制器、分色鏡和聚焦成像透鏡；從探測(cè)光源至樣品臺(tái)之間依次設(shè)置有探測(cè)光衍射分光裝置、偏振分光鏡、四分之一波片、所述的分色鏡和所述的聚焦成像透鏡；所述的光電探測(cè)器設(shè)置于偏振分光鏡的后端，從所述的偏振分光鏡至光電探測(cè)器之間設(shè)置有探測(cè)光聚焦透鏡和探測(cè)光濾光裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多光束陣列光誘導(dǎo)反射率成像裝置，其特征在于：所述的泵浦光源選用激光光源或單色光光源；所述的探測(cè)光源選用激光光源或單色光光源。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多光束陣列光誘導(dǎo)反射率成像裝置，其特征在于：所述的泵浦光衍射分光裝置和探測(cè)光衍射分光裝置均可選用位相型分光光柵。

4.多光束陣列光誘導(dǎo)反射率成像方法，其特征在于：包括以下步驟：

（1）、將被測(cè)樣品至于樣品臺(tái)上；

（2）、泵浦光源發(fā)出的泵浦光束，泵浦光束經(jīng)過泵浦光衍射分光裝置后被分為呈陣列分布的光束組，光束組經(jīng)過陣列光調(diào)制器后被調(diào)制，并且其中每一束光的調(diào)制頻率各不相同，調(diào)制后的泵浦光束組由分色鏡反射、并通過聚焦成像透鏡聚焦后照射到放置于樣品臺(tái)上的被測(cè)樣品的表面；

（3）、探測(cè)光源發(fā)出的探測(cè)光束，經(jīng)過探測(cè)光衍射分光裝置后被分為呈陣列分布的探測(cè)光束組，探測(cè)光束組依次經(jīng)過偏振分光鏡、四分之一波片和分色鏡后，由聚焦成像透鏡會(huì)聚到被測(cè)樣品表面，并且與聚焦后的泵浦光束組在被測(cè)樣品表面重合，泵浦光束組在樣品表面對(duì)應(yīng)區(qū)域激發(fā)局部溫度變化，從而引起被測(cè)樣品對(duì)探測(cè)光束反射率的變化，每一束探測(cè)光都對(duì)應(yīng)與泵浦光束組中的一束泵浦光重合；

（4）、由被測(cè)樣品表面反射的探測(cè)光束組再依次經(jīng)過聚焦成像透鏡、分色鏡和四分之一波片后，再經(jīng)偏振分光鏡反射后，由探測(cè)光聚焦透鏡會(huì)聚、并經(jīng)過探測(cè)光濾光裝置后進(jìn)入光電探測(cè)器；

（5）、光電探測(cè)器獲得的光誘導(dǎo)反射率信號(hào)含有不同調(diào)制頻率下的光熱反射率信號(hào)，分別代表來自樣品上不同探測(cè)光所對(duì)應(yīng)的區(qū)域的信號(hào)，這些信號(hào)通過后續(xù)數(shù)據(jù)處理，得到樣品表面的二維光熱反射率圖像。