[發明專利]爐管清洗方法有效
| 申請號： | 201210123365.4 | 申請日： | 2012-04-24 |
| 公開（公告）號： | CN103372559A | 公開（公告）日： | 2013-10-30 |
| 發明（設計）人： | 陳勇;劉理想 | 申請（專利權）人： | 無錫華潤上華科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B9/08 | 分類號： | B08B9/08 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 鄧云鵬 |
| 地址： | 214028 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 爐管 清洗 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種爐管清洗方法，包括如下步驟：
對爐管升溫；
向爐管內通入二氯乙烯，以去除可動金屬離子；
向爐管內通入氧氣，以清除殘留的二氯乙烯。
2.根據權利要求1所述的爐管清洗方法，其特征在于，所述向爐管內通入二氯乙烯，以去除可動金屬離子的步驟中，通入二氯乙烯的時間為70～90分鐘。
3.根據權利要求1所述的爐管清洗方法，其特征在于，所述向爐管內通入氧氣，以清除殘留的二氯乙烯的步驟中，通入氧氣的時間為20分鐘以上。
4.根據權利要求1所述的爐管清洗方法，其特征在于，所述向爐管內通入二氯乙烯，以去除可動金屬離子的步驟中，通入二氯乙烯的時間為80分鐘，所述向爐管內通入氧氣，以清除殘留的二氯乙烯的步驟中，通入氧氣的時間為30分鐘。
5.根據權利要求1所述的爐管清洗方法，其特征在于，在對爐管升溫的步驟之前，還包括將監控晶圓載入爐管的步驟。
6.根據權利要求1所述的爐管清洗方法，其特征在于，通入所述二氯乙烯和氧氣以保持監控晶圓表面的氧化層生長至預定的厚度。
7.根據權利要求1至6任一項所述的爐管清洗方法，其特征在于，所述通入二氯乙烯和氧氣的步驟由機臺的質量控制菜單控制執行。
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