[發明專利]同步信號觸發掃描方式延遲時間測量方法

在審

• 申請號: 201210122845.9
• 申請日: 2012-04-24
• 公開（公告）號: CN102681359A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 畢娟;朱亮
• 申請（專利權）人: 合肥芯碩半導體有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 方崢

1.一種同步信號觸發掃描方式延遲時間測量方法，包括有投影曝光模塊、主控模塊，投影曝光模塊包括有曝光光源、空間光調制器，曝光光源與空間光調制器之間設有光學集光系統，空間光調制器下方設置有傾斜的分束器，分束器下方設置有基底，分束器與基底之間還設有透鏡（組），分束器的分光面的前方光路上設有反射鏡，反射鏡的反射光的前方光路上設有CCD攝像機，所述的基底置于精密移動平臺上；所述的主控模塊包括有計算機系統、控制器，計算機系統分別通過一個控制器與空間光調制器、曝光光源、帶動精密移動平臺運動的電機控制連接，計算機系統還通過人工智能模塊與CCD攝像機連接；曝光光源發射的光信號經光學集光系統集光后由空間光調制器接收，空間光調制器發射調制光，調制光經過分束器及透鏡（組）投影至安裝在精密移動平臺上的基底表面以進行成像，精密移動平臺輸出位置同步信號至空間光調制器，分束器將基底表面的圖像信號經反射鏡傳送至CCD攝像機，其特征在于：測量方法包括以下步驟：

①、精密移動平臺沿著y軸正方向以速度v1運動并輸出位置同步信號至空間光調制器時，空間光調制器接受信號后翻轉圖形，在基底上曝光圖形大框；

②、精密移動平臺沿著y軸正方向以速度v2運動并輸出位置同步信號至空間光調制器時，空間光調制器接受信號后翻轉圖形，在基底上曝光圖形小框；

③、根據曝光圖形的結果，使用高倍率顯微鏡測量y方向小框和大框的外邊差，并記錄分別為y1和y2；

④、位置同步信號觸發的延遲時間(從平臺發出同步觸發信號到空間光調制器接受到該同步信號的時間)是固定的，所以延時t=中心偏差/速度差，中心偏差=(y2-y1)/2，速度差=v1-v2；所以延時t=(y2-y1)/[2×(v1-v2)]；

、進而，在曝光的起始點根據測得的延時t得到補償延遲誤差值為v×t，v是精密移動平臺沿著y軸正方向勻速運動的速度，進而,根據得到的補償延遲誤差值對曝光起始點坐標進行補償，理論計算的曝光起始點坐標是（x，y），補償后的曝光坐標值是（x，y-v×t）。

2.根據權利要求1所述的一種同步信號觸發掃描方式延遲時間測量方法，其特征在于：所述的大框和小框的外偏差為大框的上端與小框的上端的垂直距離y2和大框的下端與小框的下端的垂直距離y1。

3.根據權利要求1所述的一種同步信號觸發掃描方式延遲時間測量方法，其特征在于：所述大框和小框均為1位bitmap圖形，大框大小為900像素×700像素，小框大小為500像素×400像素。

4.根據權利要求1所述的一種同步信號觸發掃描方式延遲時間測量方法，其特征在于：所述的精密移動平臺提供X，Y，Z，R四維的方位控制和提供兩軸位置同步信號的輸出。