[發(fā)明專利]一種用于磷化銦制備的高壓爐

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210121250.1
• 申請(qǐng)日: 2012-04-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102602902A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮先達(dá)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京金美鎵業(yè)有限公司
• 主分類號(hào): C01B25/08
• 分類號(hào): C01B25/08
• 代理公司: 江蘇致邦律師事務(wù)所 32230
• 代理人: 王偉

1.一種用于磷化銦制備的高壓爐，包括爐體外殼、爐腔，爐腔內(nèi)設(shè)有加熱器，加熱器中設(shè)有坩堝，加熱器與爐體外殼之間設(shè)有熱保護(hù)系統(tǒng)，其特征在于：還包括操作桿，操作桿穿過(guò)爐體外殼頂部的第一通孔進(jìn)入爐腔，第一通孔采用多重高壓密封；操作桿上設(shè)有推進(jìn)裝置、旋轉(zhuǎn)裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于磷化銦制備的高壓爐，其特征在于：推進(jìn)裝置包括操作桿上設(shè)計(jì)為螺桿的部分、螺桿直線電機(jī)，二者相互配合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于磷化銦制備的高壓爐，其特征在于：旋轉(zhuǎn)裝置包括操作桿上設(shè)有的凸起、設(shè)有導(dǎo)軌的套筒，套筒套在操作桿上并固定在爐體外殼上；凸起與導(dǎo)軌相互配合并可以在導(dǎo)軌中滑動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于磷化銦制備的高壓爐，其特征在于：導(dǎo)軌為沿套筒內(nèi)壁延伸的曲線。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于磷化銦制備的高壓爐，其特征在于：凸起可在導(dǎo)軌中滑動(dòng)并帶動(dòng)操作桿旋轉(zhuǎn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于磷化銦制備的高壓爐，其特征在于：操作桿在爐腔內(nèi)連接有磷爐，磷爐設(shè)有磷泡、副加熱器；磷泡底部設(shè)有排出管。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于磷化銦制備的高壓爐，其特征在于：坩堝由氮化硼制成。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于磷化銦制備的高壓爐，其特征在于：熱保護(hù)系統(tǒng)由石墨和碳?xì)謽?gòu)成。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于磷化銦制備的高壓爐，其特征在于：爐體外殼頂部設(shè)有第二通孔。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于磷化銦制備的高壓爐，其特征在于：拉晶桿穿過(guò)爐體外殼頂部的第二通孔進(jìn)入爐腔，用于提拉磷化銦晶體。