[發明專利]Y型分岔光波導及其制作方法

在審

• 申請號: 201210120366.3
• 申請日: 2012-04-24
• 公開（公告）號: CN103376505A
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發明（設計）人: 黃新舜
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: G02B6/125
• 分類號: G02B6/125;G02B6/138
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種Y型分岔光波導，其包括一個總枝，自該總枝末端延伸出的一個第一分枝及一個第二分枝，該第一分枝與該第二分枝共同形成一個分岔，其特征在于：該總枝末端于該分岔處具有一個端面，該第一分枝與該第二分枝由該端面連接。

2.如權利要求1所述的Y型分岔光波導，其特征在于：該第一分枝與該第二分枝對于該分岔的分岔角度小于或等于1度。

3.如權利要求1所述的Y型分岔光波導，其特征在于：該端面為一平面。

4.如權利要求1所述的Y型分岔光波導，其特征在于：該總枝包括該總枝末端所在的第一段及與該第一段連接的第二段，該第一段的橫截面積大于該第二段的橫截面積。

5.如權利要求4所述的Y型分岔光波導，其特征在于：該第一分枝及該第二分枝均呈直線自該總枝末端延伸出。

6.如權利要求5所述的Y型分岔光波導，其特征在于：該第二段所在的直線與該第一分枝所在的直線重合。

7.一種如權利要求1所述的Y型分岔光波導的制作方法，其包括：

提供一個導光基底及一個含有與權利要求1所述的Y型分岔光波導對應的圖形的遮罩；以及

將該遮罩應用于黃光微影制程中以利用該遮罩于該導光基底形成該Y型分岔光波導。

8.如權利要求7所述的Y型分岔光波導的制作方法，其特征在于：該導光基底的材料為玻璃或鈮酸鋰。

9.如權利要求7所述的Y型分岔光波導的制作方法，其特征在于：該遮罩應用黃光微影制程預先制成。

10.如權利要求7所述的Y型分岔光波導的制作方法，其特征在于：該遮罩開設有用于定義該Y型分岔光波導的通孔，該通孔包括總孔段及自該總孔段末端延伸出的一個第一分孔段及一個第二分孔段，該第一分孔段與該第二分孔段共同形成一個凸部，該總孔段末端于該凸部處具有一個端面，該第一分孔段與該第二分孔段由該端面連接。