[發明專利]利用激光誘發石墨烯的制備方法無效
| 申請號： | 201210120059.5 | 申請日： | 2012-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN103378222A | 公開（公告）日： | 2013-10-30 |
| 發明（設計）人： | 闕郁倫;丁紀嘉;林宏橋 | 申請（專利權）人： | 闕郁倫 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 周長興 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 利用 激光 誘發 石墨 制備 方法 | ||
1.一種石墨烯的制備方法，包括：
提供一基板；
形成一金屬層于該基板上的一面；
形成一碳源基材層于該金屬層上；
提供一激光光源，照射于該基板上使其穿越該基板至該基板與該金屬層接觸面上，以形成一石墨烯層；以及
提供一有機溶劑及一酸液，可分別移除該碳源基材層及該金屬層。
2.如權利要求1所述石墨烯的制備方法，其中，該基板為一透明基板。
3.如權利要求1所述石墨烯的制備方法，其中，該基板為玻璃基板、塑料基板或石英基板。
4.如權利要求1所述石墨烯的制備方法，其中，該金屬層為鎳層或釕層。
5.如權利要求1所述石墨烯的制備方法，其中，該金屬層的厚度為10-300nm。
6.如權利要求1所述石墨烯的制備方法，其中，包括將該金屬層圖案化。
7.如權利要求1所述石墨烯的制備方法，其中，該碳源基材為一固態碳源基材。
8.如權利要求1所述石墨烯的制備方法，其中，該碳源基材為聚甲基丙烯酸甲酯或聚二甲基硅膠。
9.如權利要求1所述石墨烯的制備方法，其中，該碳源基材層的厚度為100-2000nm。
10.如權利要求1所述石墨烯的制備方法，其中，該激光光源的波長為200-2000nm。
11.如權利要求1所述石墨烯的制備方法，其中，該激光光源的單位面積能量為100mW/cm2-5W/cm2。
12.如權利要求1所述石墨烯的制備方法，其中，該激光光源的照射時間為0.1-10分鐘。
13.如權利要求1所述石墨烯的制備方法，其中，該有機溶劑為丙酮、苯、氯仿、丁酮、四氫呋喃、氯苯、二甲苯、環己酮或二氯甲烷。
14.如權利要求1所述石墨烯的制備方法，其中，該酸液為稀鹽酸或醋酸。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于闕郁倫，未經闕郁倫許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210120059.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：磁阻式隨機存取存儲器及其制造方法
- 下一篇：可移動式液壓單體支柱拆裝器
