[發明專利]用于處理四氯化硅氫化副產物的設備

有效

• 申請號: 201210118927.6
• 申請日: 2012-04-20
• 公開（公告）號: CN102653405A
• 公開（公告）日: 2012-09-05
• 發明（設計）人: 張升學;嚴大洲;肖榮暉;毋克力;湯傳斌;楊永亮;萬燁
• 申請（專利權）人: 中國恩菲工程技術有限公司;洛陽中硅高科技有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 宋合成

1.一種用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，包括：

氣固分離裝置，所述氣固分離裝置用于對四氯化硅氫化副產物進行氣固分離以得到含有三氯氫硅、四氯化硅、二氯二氫硅、氫氣的第一氣體混合物和固體顆粒；以及

熱交換裝置，所述熱交換裝置與所述氣固分離裝置相連，從所述氣固分離裝置接收所述第一氣體混合物，并且將所述第一氣體混合物與第二氣體混合物進行熱交換，以便使得所述第二氣體混合物的溫度被提高，其中，所述第二氣體混合物為四氯化硅和氫氣的混合物。

2.根據權利要求1所述的用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，進一步包括：

氫化反應裝置，所述氫化反應裝置用于對四氯化硅進行氫化處理；以及

固體顆粒返回管路，所述固體顆粒返回管路所述氣固分離裝置相連，用于將所述固體顆粒返回至氫化反應裝置。

3.根據權利要求1所述的用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，所述氣固分離裝置為旋風分離器。

4.根據權利要求1所述的用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，進一步包括陶瓷過濾器，所述陶瓷過濾器分別與所述氣固分離裝置和熱交換裝置相連，以便在第一氣體混合物進入所述熱交換裝置之前，對所述第一氣體混合物進行過濾除塵處理。

5.根據權利要求4所述的用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，所述陶瓷過濾器的孔徑為600-1500目。

6.根據權利要求1所述的用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，在所述第二氣體混合物中四氯化硅和氫氣的摩爾比例為1∶1～1∶10。

7.根據權利要求1所述的用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，進一步包括冷凝裝置，所述冷凝裝置與所述熱交換裝置相連，用于從所述熱交換裝置接收經過冷卻的第一氣體混合物，并對所述第一氣體混合物進行冷凝處理，使得所述第一氣體混合物中的三氯氫硅、四氯化硅和二氯二氫硅與氫氣分離，氫氣循環利用。

8.根據權利要求1所述的用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，進一步包括加熱裝置，所述加熱裝置與所述氫化反應裝置相連，用于將氫氣和四氯化硅的混合氣體進行加熱后，將所述混合氣體供給到所述氫化反應裝置。

9.根據權利要求8所述的用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，進一步包括：

第二氣體混合物輸送管道，所述第二氣體混合物輸送管道分別與所述熱交換裝置和所述加熱裝置相連，用于將經過熱交換的所述含有四氯化硅和氫氣的混合氣體輸入至所述氫化反應裝置中。