[發明專利]一種激光多點聚焦加工系統

有效

• 申請號: 201210118371.0
• 申請日: 2012-04-20
• 公開（公告）號: CN102653032A
• 公開（公告）日: 2012-09-05
• 發明（設計）人: 段軍;鄧磊敏;曾曉雁
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: B23K26/04
• 分類號: B23K26/04;B23K26/38;C03B33/08
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 曹葆青

1.?一種激光多點聚焦加工系統，其特征在于，該系統包括激光器（1）、擴束鏡（2）、導光鏡（3）、聚焦透鏡（4）、第一全反射鏡（6）、第二全反射鏡（10）和xy兩維工作臺（12）；

激光器（1）、擴束鏡（2）、導光鏡（3）和聚焦透鏡（4）依次位于同一光路上，第一全反射鏡（6）、第二全反射鏡（10）依次位于聚焦透鏡（4）與xy兩維工作臺（12）之間，第一全反射鏡（6）為中間開有小孔（5）的球面或非球面全反射鏡，第一全反射鏡（6）曲率半徑小于第一全反射鏡和第二全反射鏡之間最小距離的一半；工作時，第一全反射鏡（6）凹面向xy兩維工作臺（12），第一全反射鏡的光軸與激光光軸重合；小孔（5）的中心與激光光軸重合；聚焦透鏡（4）的位置上、下可調，第一全反射鏡（6）與第二全反射鏡（10）之間的距離可調，待加工透明材料（13）安裝在第一全反射鏡（6）和第二全反射鏡（10）之間。

2.根據權利要求1所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，小孔5的直徑大于入射至第一全反射鏡（6）上的光斑直徑的1.1倍。

3.根據權利要求1所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，第二全反射鏡（10）鍍有高反膜。

4.?根據權利要求1至3中任一所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，聚焦透鏡（4）固定在第一z軸移動機構（7）上，第一全反射鏡（6）固定在第二z軸移動機構（11）上，第二全反射鏡（10）直接固定在xy兩維工作臺（12）上。

5.根據權利要求1至3中任一所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，聚焦透鏡（4）和第一全反射鏡（6）均固定在第一z軸移動機構（7）上，第二全反射鏡（10）放置在支撐夾具（8）和xy兩維工作臺（12）之間并固定在第三z軸移動機構（14）上，上下移動第三z軸移動機構（14）可調節第一全反射鏡（6）和第二全反射鏡（10）之間距離，支撐夾具（8）的中間開有一個透光口（9）并固定在xy兩維工作臺（12）上，組成一個二維移動平臺，支撐夾具（8）用于安放待加工透明材料（13）。

6.根據權利要求1至3中任一所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，第二全反射鏡為平面或球面或非球面鏡，其曲率半徑大于第一焦點到第二全反射鏡距離一半，第一全反射鏡的曲率半徑小于第一全反射鏡和第二放射鏡之間最小距離的一半。

7.根據權利要求4中任一所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，第二全反射鏡為平面或球面或非球面鏡，其曲率半徑大于第一焦點到第二全反射鏡距離一半，第一全反射鏡的曲率半徑小于第一全反射鏡和第二放射鏡之間最小距離的一半。

8.根據權利要求5中任一所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，第二全反射鏡為平面或球面或非球面鏡，其曲率半徑大于第一焦點到第二全反射鏡距離一半，第一全反射鏡的曲率半徑小于第一全反射鏡和第二放射鏡之間最小距離的一半。

9.根據權利要求4中任一所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，第二全反射鏡為球面鏡或非球面鏡，其曲率半徑小于第一焦點到第二全反射鏡距離一半，第一全反射鏡的曲率半徑小于第一全反射鏡和第二放射鏡之間最小距離的一半。

10.根據權利要求5中任一所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，第二全反射鏡為球面鏡或非球面鏡，其曲率半徑小于第一焦點到第二全反射鏡距離一半，第一全反射鏡的曲率半徑小于第一全反射鏡和第二放射鏡之間最小距離的一半。