[發明專利]一種投影光學系統

有效

• 申請號: 201210118312.3
• 申請日: 2012-04-21
• 公開（公告）號: CN102621668A
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發明（設計）人: 劉鵬
• 申請（專利權）人: 張家港鵬博光電科技有限公司
• 主分類號: G02B13/06
• 分類號: G02B13/06;G02B13/22;G02B13/00;G02B27/12;G02B3/00;G02B7/02;G03F7/20
• 代理公司: 張家港市高松專利事務所(普通合伙) 32209
• 代理人: 祁凱娟

1.一種投影光學系統，用于將物平面內的圖形成像到像平面內，所述投影光學系統沿其光軸方向包括前組、孔徑光闌和后組，其特征在于：所述前組包括第一鏡組、第二鏡組和第三鏡組，所述第一鏡組和第三鏡組具有正光焦度，所述第二鏡組具有負光焦度，所述第二鏡組位于所述第一鏡組和第三鏡組之間，所述第一鏡組位于所述物平面和第二鏡組之間；所述后組包括第四鏡組、第五鏡組和第六鏡組，所述第四鏡組和第六鏡組具有正光焦度，所述第五鏡組具有負光焦度，所述第五鏡組位于所述第四鏡組和第六鏡組之間，所述第六鏡組位于所述像平面和第五鏡組之間；所述前組和后組關于所述孔徑光闌對稱，所述的投影光學系統滿足：

關系式1：0.2＜fl/fa＜1.4；

關系式2：-0.4＜f2/fa＜-0.06；

關系式3：0.12＜f3/fa＜0.6，

其中，fl：第一鏡組的組合焦距；f2：第二鏡組的組合焦距；f3：第三鏡組的組合焦距；fa：前組的組合焦距。

2.根據權利要求1所述的一種投影光學系統，其特征在于：所述第一鏡組包括第一透鏡和第二透鏡，所述第一透鏡和第二透鏡均為雙凸透鏡。

3.根據權利要求1所述的一種投影光學系統，其特征在于：所述第二鏡組包括第三透鏡和第四透鏡，所述第三透鏡具有負光焦度，所述第三透鏡包括一個面向所述像平面的凹面；所述第四透鏡具有負光焦度，所述第四透鏡包括一個面向所述物平面的凹面。

4.根據權利要求3所述的一種投影光學系統，其特征在于：所述第三鏡組包括第五透鏡和第六透鏡，所述第五透鏡具有正光焦度，所述第六透鏡具有正光焦度。

5.根據權利要求3所述的一種投影光學系統，其特征在于：所述的投影光學系統滿足：

關系式4：-2.0＜r1/r2＜-0.5；

關系式5：1.0＜r3/r2＜2.0，

其中，r1：所述第三透鏡的凹面的曲率半徑；r2：所述第四透鏡的凹面的曲率半徑；r3：第三鏡組的曲面中的絕對值最小的曲率半徑。

6.根據權利要求1所述的一種投影光學系統，其特征在于：所述投影光學系統中的透鏡數量大于等于10，且小于等于20。

7.根據權利要求1所述的一種投影光學系統，其特征在于：所述第一鏡組的透鏡中最少有2個曲面的曲率半徑的絕對值相等。

8.根據權利要求1所述的一種投影光學系統，其特征在于：所述前組的組合后焦點位于所述孔徑光闌的中心，所述后組的組合前焦點位于所述孔徑光闌的中心。