[發明專利]改進的背面照明圖像傳感器架構及其制造方法

有效

• 申請號: 201210117321.0
• 申請日: 2012-04-20
• 公開（公告）號: CN103311256A
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發明（設計）人: V.奧加涅相
• 申請（專利權）人: 奧普蒂茲公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 劉春元;李家麟

1.一種圖像傳感器器件，包括：

襯底，其包括：

???????多個光電檢測器，其中，所述多個光電檢測器的第一部分每個具有比所述多個光電檢測器的第二部分中的每個小的橫向尺寸；

???????多個接觸焊盤，其被電耦合到光電檢測器；

多個濾色器，其每個被設置在光電檢測器中的一個之上；

其中，所述多個光電檢測器被配置為響應于通過濾色器入射的光產生電子信號。

2.權利要求1的圖像傳感器器件，其中：

所述多個光電檢測器被以二維陣列布置在襯底中；

所述多個光電檢測器的第一部分被接近于陣列的中心設置；

所述多個光電檢測器中的第二個被接近于陣列的周界設置。

3.權利要求2的圖像傳感器器件，其中：

所述多個光電檢測器的第三部分每個具有比所述多個光電檢測器的第二部分中的每個小的橫向尺寸；

所述多個光電檢測器的第三部分每個具有比所述多個光電檢測器的第一部分中的每個大的橫向尺寸；

所述多個光電檢測器的第三部分被設置在所述多個光電檢測器的第一和第二部分之間。

4.權利要求2的圖像傳感器器件，其中，所述多個光電檢測器的密度在陣列的中心處比在陣列的周界處大。

5.權利要求1的圖像傳感器器件，其中，光電檢測器中的橫向鄰近的光電檢測器被以遍及陣列基本上相同的間距相互隔開。

6.權利要求1的圖像傳感器器件，其中，所述襯底具有前和后相對表面，所述多個光電檢測器是在前表面處形成的，并且所述多個接觸焊盤是在前表面處形成的，其中，所述圖像傳感器器件還包括：

腔體，其延伸至背表面中并具有底面；

多個輔助腔體，每個延伸到底面且在光電檢測器中的一個之上；以及

設置在輔助腔體中的吸收補償材料，其中，所述吸收補償材料具有與襯底的光吸收特性不同的光吸收特性；

其中，所述多個濾色器中的每一個被設置在腔體中或輔助腔體中的一個中。

7.權利要求6的圖像傳感器器件，其中，所述輔助腔體中的吸收補償材料的深度改變以針對所述多個光電檢測器中的不同的光電檢測器提供變化的光吸收量。

8.權利要求7的圖像傳感器器件，其中，所述輔助腔體的深度改變。

9.權利要求7的圖像傳感器器件，其中：

所述多個濾色器包括第一濾色器、第二濾色器和第三濾色器；

所述輔助腔體被設置在第一濾色器和第二濾色器下面；

在第一濾色器下面的吸收補償材料的深度大于在第二濾色器下面的吸收補償材料的深度。

10.權利要求9的圖像傳感器器件，其中，在第三濾色器下面沒有設置輔助腔體。

11.權利要求10的圖像傳感器器件，其中，第一色彩是紅色，第二色彩是綠色且第三色彩是藍色。

12.權利要求1的圖像傳感器器件，其中，所述襯底具有前和后相對表面，所述多個光電檢測器是在前表面處形成的，并且所述多個接觸焊盤是在前表面處形成的，其中，所述圖像傳感器器件還包括：

多個輔助腔體，每個延伸到背表面且在光電檢測器中的一個之上；以及

設置在輔助腔體中的吸收補償材料，其中，所述吸收補償材料具有與襯底的光吸收特性不同的光吸收特性；

其中，所述多個濾色器中的每一個被設置在背表面上或在輔助腔體中的一個中。

13.權利要求12的圖像傳感器器件，其中，所述輔助腔體中的吸收補償材料的深度改變以針對所述多個光電檢測器中的不同的光電檢測器提供變化的光吸收量。

14.權利要求13的圖像傳感器器件，其中，所述輔助腔體的深度改變。

15.權利要求13的圖像傳感器器件，其中：

所述多個濾色器包括第一濾色器、第二濾色器和第三濾色器；

所述輔助腔體被設置在第一濾色器和第二濾色器下面；

在第一濾色器下面的吸收補償材料的深度大于在第二濾色器下面的吸收補償材料的深度。

16.權利要求15的圖像傳感器器件，其中，在第三濾色器下面沒有設置輔助腔體。