[發(fā)明專利]具備DLC膜的滑動(dòng)部件

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210116013.6
• 申請(qǐng)日: 2012-04-19
• 公開（公告）號(hào): CN102747324A
• 公開（公告）日: 2012-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岡本晉哉;杉本一等;馬場(chǎng)升
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社日立制作所
• 主分類號(hào): C23C14/06
• 分類號(hào): C23C14/06;C01B31/02
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 王永紅

1.滑動(dòng)部件，在基材上配置包含第一層的DLC膜，其特征在于，

所述基材為包含選自V、Cr、Nb、Mo、Ta、W的至少一種的合金鋼，

所述第一層包含選自V、Cr、Nb、Mo、Ta、W的至少一種，

相同的晶體結(jié)構(gòu)從所述基材向第一層連續(xù)。

2.權(quán)利要求1的滑動(dòng)部件，其特征在于，

所述DLC膜自基材側(cè)起，依次包含第一層、第二層、硬質(zhì)碳層，

所述第二層包含選自V、Cr、Nb、Mo、Ta、W的至少一種和C元素，

具有從第一層向第二層連續(xù)的結(jié)晶。

3.權(quán)利要求2的滑動(dòng)部件，其特征在于，相同的晶體結(jié)構(gòu)從所述基材向第二層連續(xù)。

4.如權(quán)利要求2或3所述的滑動(dòng)部件，其特征在于，所述第二層是從基材側(cè)向硬質(zhì)碳層側(cè)，選自V、Cr、Nb、Mo、Ta、W的至少一種的濃度變低，C元素的濃度變高。

5.權(quán)利要求1或2的滑動(dòng)部件，其特征在于，所述基材和所述第一層中包含的元素的晶格結(jié)構(gòu)相同。

6.權(quán)利要求2的滑動(dòng)部件，其特征在于，所述第一層和所述第二層中包含的元素的晶格結(jié)構(gòu)相同。

7.權(quán)利要求2的滑動(dòng)部件，其特征在于，所述基材與所述第一層和所述第二層中包含的元素的晶格結(jié)構(gòu)相同。

8.權(quán)利要求2的滑動(dòng)部件，其特征在于，所述硬質(zhì)碳層為sp²鍵合碳和sp³鍵合碳混雜。

9.滑動(dòng)部件的制造方法，其特征在于，在由包含選自V、Cr、Nb、Mo、Ta、W的至少一種的合金鋼構(gòu)成的基材上，用非平衡磁控濺射法，按照第一層、第二層、硬質(zhì)碳層的順序進(jìn)行層疊，形成DLC膜。