[發明專利]壓力傳感器

有效

• 申請號: 201210115444.0
• 申請日: 2012-04-18
• 公開（公告）號: CN102778323A
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發明（設計）人: 高月修;青山倫久
• 申請（專利權）人: 株式會社不二工機
• 主分類號: G01L9/08
• 分類號: G01L9/08
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 梅高強;劉煜

技術領域

本發明涉及一種壓力傳感器，尤其涉及一種在收容有壓力檢測元件的受壓空間內封入有液體的液封式壓力傳感器。

背景技術

以往，提出了各種的技術方案的壓力傳感器：在收容有壓力檢測元件的受壓空間內封入液體，將從外部施加到壓力檢測室的壓力經液體而傳遞給壓力檢測元件，由此從壓力檢測元件輸出與外部壓力對應的電壓信號。

作為上述液封入式壓力傳感器的一例子，專利文獻1記載有這樣一種壓力傳感器：由傳感器芯片(壓力檢測元件)對通過隔離膜片(日文：バリアダイアフラム)傳遞的壓力進行檢測，將檢測出的壓力變換為電壓，通過同心圓地配置在圓盤狀定位玻璃板(基座)上的多個電極銷(導銷)而向外部輸出。

另外，從壓力傳感器的壓力檢測元件輸出的電壓，因制造時或零件的偏差而不能原樣地作為外部輸出，必須進行與壓力傳感器的特性相對應的修正。電壓修正如專利文獻2記載的那樣，一般如此進行：事先將修正信息存儲到只讀存儲器，在壓力計測時讀出所存儲的信息來修正電壓。

在該情況下，導銷除了輸出用的之外，還配設用于上述電壓修正(以下稱為“調整用”)的導銷。輸出用導銷釬焊在配線基板上，將來自壓力檢測元件的電壓信號通過配線基板而傳遞到例如從該壓力傳感器中心引出的外部輸出用導線，但調整用導銷專門在制造時僅用于存儲修正信息的情況，不與外部輸出用導線連接。另外，考慮到壓力檢測元件的結構和上述調整作業的容易性，輸出用導銷與調整用導銷通常按照各個組來區分配設。

專利文獻1：日本特開2001-41838號公報

專利文獻2：日本特開昭62-175631號公報

但是，在上述以往技術的壓力傳感器中，由于輸出用導銷與導線的軸心錯開，因此，在制造壓力傳感器等時，輸出用導銷沿導線方向受到牽拉時有可能產生較大變形。另外，導銷與貫通孔之間通過密封件密封，然而，由上述牽拉可能會造成密封件本身損壞。

發明內容

因此，本發明是為了解決上述問題而做成的，其目的在于提供一種壓力傳感器，維持壓力檢測部的氣密性并改善了輸出用導銷周圍的結構上的脆弱性。

為實現上述目的，本發明的壓力傳感器具有：壓力檢測部，該壓力檢測部具有壓力檢測元件；輸出用導銷，該輸出用導銷與該壓力檢測元件連接，向所述壓力檢測部的外部突出；以及配線基板，該配線基板固定有可與外部輸出用導線電氣連接的該輸出用導銷，該壓力傳感器中，與所述壓力檢測元件連接并向所述壓力檢測部的外部突出的調整用導銷固定在所述配線基板上。

此外，采用本發明，由于不僅輸出用導銷、連用作為電壓修正用等的調整用導銷也一起固定在配線基板上，因此，輸出用導銷、配線基板及調整用導銷的整體結構的強度提高，可防止因在導線方向上的牽拉而產生的導銷的變形。

在上述壓力傳感器中，所述輸出用導銷及所述調整用導銷貫通固定著所述壓力檢測元件的部件并向所述壓力檢測部的外部突出，該輸出用導銷及調整用導銷的貫通部由密封件密封。由此，能夠維持壓力檢測部的氣密性，并能夠防止密封件本身損壞。

此外，在上述壓力傳感器中，所述輸出用導銷及所述調整用導銷配列成大致圓環狀，且相對于該圓環的中心分別位于相反側。通過各導銷的這種配列，能進一步有效地防止導銷的變形和密封件的損壞。

發明效果：

如上所述，采用本發明，能夠維持壓力傳感器的壓力檢測部的氣密性，并能改善輸出用導銷周圍的結構上的脆弱性。

附圖說明

圖1是表示本發明的壓力傳感器一實施方式的圖，(a)是縱剖面圖，(b)是沿(a)中A-A線的箭頭方向視圖，表示卸下殼體后的狀態。

符號說明：

1????壓力傳感器

2????壓力檢測部

3?????接頭連接部

21????壓力檢測元件

22????流體流入部

23????基座

23a???貫通孔

23b???密封件

23c???環狀角部

24????承載部件

25????膜片

26????受壓空間

27????加壓空間

28????球體

29????電線

31????配線基板

32????外部輸出用導線

33(33A～33C)????輸出用導銷

34????頭

35????蓋體

36(36A～36E)????調整用導銷

41????空間