[發明專利]振蕩電路

有效

• 申請號: 201210115203.6
• 申請日: 2012-04-18
• 公開（公告）號: CN102751947A
• 公開（公告）日: 2012-10-24
• 發明（設計）人: 渡邊徹
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03B5/30
• 分類號: H03B5/30
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李偉;王軼

技術領域

本發明涉及振蕩電路。

背景技術

MEMS(Micro?Electro?Mechanical?Systems：微電子機械系統)是微細構造體形成技術的一種，例如，指制造微米級的微細的電子機械系統的技術及其產品。人們正在開發利用MEMS技術制作的振動元件(MEMS振子)。另外，也正在開發使用MEMS振子的振蕩電路。專利文獻1中公開了一種使用了MEMS振子的振蕩器。

專利文獻1：日本特開2009-200888號公報

與晶體振子、陶瓷振子相比，MEMS振子在功率大的信號作為輸入信號被輸入的情況下，通過特性容易失真。若通過特性失真，則容易引起頻率漂移(頻率不穩定)的現象。

發明內容

本發明的一些方式的目的之一在于提供一種抑制了輸出信號的頻率漂移的振蕩電路。

本發明的振蕩電路包括：

MEMS振子，其具有隔開空隙配置的第1電極以及第2電極；

放大部，其包括增益部和增益限制部，該增益部具有第1輸入端子以及第1輸出端子，且增益比1大，該增益限制部具有第2輸入端子以及第2輸出端子，且增益比1小；和

輸出端子，其與上述第1輸出端子連接，

上述第1電極與上述第1輸入端子連接，

上述第1輸出端子與上述第2輸入端子連接，

上述第2輸出端子與上述第2電極連接。

所謂“連接”是指，電連接，不僅指直流式連接的情況，也包括交流式連接的情況。

根據本發明，向MEMS振子輸入的信號是增益比1小的增益限制部的輸出信號，因此通過特性不易失真。從而，能夠實現抑制了輸出信號的頻率漂移的振蕩電路。

另外，根據本發明，增益比1大的增益部的輸出信號為振蕩電路的輸出信號，因此能夠輸出振幅大的信號。

在本發明所涉及的振蕩電路中，包括：

電壓施加部，其向上述第1電極與上述第2電極之間施加偏壓；和

控制部，其對上述增益限制部以及上述電壓施加部進行控制，

上述控制部能夠將上述增益限制部中增益、與上述電壓施加部施加的上述偏壓建立關聯地控制。

MEMS振子的通過特性的失真程度根據偏壓的大小發生變化。根據本發明，控制部通過將增益限制部中的增益、與電壓施加部施加的偏壓建立關聯地控制，從而能夠實現進一步抑制了輸出信號的頻率漂移的振蕩電路。

在本發明所涉及的振蕩電路中，上述控制部能夠按照上述電壓施加部施加的上述偏壓越大，上述增益限制部中的增益越小的方式進行控制。

MEMS振子具有偏壓越大通過特性越容易失真的傾向。根據本發明，控制部通過按照電壓施加部施加的偏壓越大，增益限制部中的增益越小的方式進行控制，從而能夠實現進一步抑制了輸出信號的頻率的漂移的振蕩電路。

附圖說明

圖1是表示第1實施方式的振蕩電路1的電路圖。

圖2是表示放大部20的一個例子的電路圖。

圖3是表示MEMS振子10的通過特性的示意圖。

圖4是表示第2實施方式的振蕩電路2的電路圖。

圖5是表示電壓施加部40的一個例子的電路圖。

圖6是表示增益限制部24的一個例子的電路圖。

圖7是表示MEMS振子10的通過特性的示意圖。

圖8是示意性地表示MEMS振子10的構成例的俯視圖。

圖9是示意性地表示MEMS振子10的構成例的剖視圖。

符號說明