[發(fā)明專利]鋁鎂合金的低粉塵陽極氧化表面處理工藝

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210114206.8
• 申請(qǐng)日: 2012-04-18
• 公開（公告）號(hào): CN103374740A
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 游利
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): C25D11/08
• 分類號(hào): C25D11/08;C25D11/18;C25D11/16
• 代理公司: 靖江市靖泰專利事務(wù)所 32219
• 代理人: 陸平

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技術(shù)領(lǐng)域：

本發(fā)明涉及集成電路生產(chǎn)設(shè)備的制造，尤其涉及鋁鎂合金的低粉塵陽極氧化表面處理工藝。

背景技術(shù)：

集成電路在制造過程中，一個(gè)硅片表面具有多個(gè)微芯片，每個(gè)微芯片又有數(shù)以百萬計(jì)的器件互連線路，它們對(duì)玷污都非常敏感。隨著芯片的特征尺寸為適應(yīng)更高性能和更高集成度的要求而縮小，控制表面玷污的需要變得越來越關(guān)鍵。為了盡可能的避免硅片制造中的玷污，人們?cè)诳刂乒杵旧頋崈舻耐瑫r(shí)，對(duì)集成電路制造設(shè)備的清潔要求越來越高。特別是在制造工藝過程中與硅片有直接接觸的零件表面，該零件表面需要有耐腐蝕、絕緣等性，需進(jìn)行陽極氧化處理以達(dá)到所需要的耐腐蝕、絕緣等性能，而原有技術(shù)制得的零件表面存在玷污，影響到硅片的清潔。

發(fā)明內(nèi)容?：

本發(fā)明的目的在于提供一種鋁鎂合金的低粉塵陽極氧化表面處理工藝，鋁鎂合金經(jīng)表面處理后潔凈、光亮。

本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的：鋁鎂合金的低粉塵陽極氧化表面處理工藝，其特征在于：包括以下步驟：去雜質(zhì)、油脂——堿腐蝕——中和——陽極氧化——封孔處理。

本發(fā)明所述的去雜質(zhì)、油脂為：使用240#砂紙打磨直至表面無機(jī)加工紋理和任何劃線；再用3M?6447工業(yè)百潔布水磨，然后再使用3M?6448工業(yè)百潔布水磨,表面需水磨均勻。

本發(fā)明所述的堿腐蝕為：把去除表面雜質(zhì)、油脂后的鋁鎂合金放入裝有濃度為40-50g/L的氫氧化鈉的槽內(nèi)浸蝕10-30分鐘，此過程中控制槽內(nèi)溫度在45℃-55℃。

本發(fā)明所述的中和為：把經(jīng)過堿腐蝕的鋁鎂合金放入裝有濃度為120-150g/L的硝酸槽內(nèi)浸蝕2-5分鐘。

本發(fā)明所述的陽極氧化為：把中和處理后的鋁鎂合金放入電鍍槽中；槽液成分：硫酸150-180g/L、銀離子5-15g/L和少量磷酸；槽液溫度20+/-1℃；鋁合金材料接電源的正極，槽液內(nèi)接電源的負(fù)極；在正負(fù)極間加波形為硬直電弧的電壓14V-18V；氧化時(shí)間根據(jù)膜厚的需求進(jìn)行調(diào)整，一般控制在60分鐘-90分鐘。

本發(fā)明所述的封孔處理為：把陽極氧化處理后的鋁鎂合金放入純水槽液內(nèi)進(jìn)行封孔處理：槽液成分：0.8-1.2g/L的鎳離子、少量醋酸；槽液溫度控制在90℃；槽液的PH值為5.6-6.5；封孔時(shí)間為氧化膜厚度μmx1.3小時(shí)。

本發(fā)明工藝合理、操作方便?、鋁鎂合金經(jīng)表面處理后潔凈、光亮。

具體實(shí)施方式：

鋁鎂合金的低粉塵陽極氧化表面處理工藝，其特征在于：包括以下步驟：去雜質(zhì)、油脂——堿腐蝕——中和——陽極氧化——封孔處理。所述的去雜質(zhì)、油脂為：使用240#砂紙打磨直至表面無機(jī)加工紋理和任何劃線；再用3M?6447工業(yè)百潔布水磨，然后再使用3M?6448工業(yè)百潔布水磨,表面需水磨均勻。所述的堿腐蝕為：把去除表面雜質(zhì)、油脂后的鋁鎂合金放入裝有濃度為40-50g/L的氫氧化鈉的槽內(nèi)浸蝕10-30分鐘，此過程中控制槽內(nèi)溫度在45℃-55℃。所述的中和為：把經(jīng)過堿腐蝕的鋁鎂合金放入裝有濃度為120-150g/L的硝酸槽內(nèi)浸蝕2-5分鐘。所述的陽極氧化為：把中和處理后的鋁鎂合金放入電鍍槽中；槽液成分：硫酸150-180g/L、銀離子5-15g/L和少量磷酸；槽液溫度20+/-1℃；鋁合金材料接電源的正極，槽液內(nèi)接電源的負(fù)極；在正負(fù)極間加波形為硬直電弧的電壓14V-18V；氧化時(shí)間根據(jù)膜厚的需求進(jìn)行調(diào)整，一般控制在60分鐘-90分鐘。所述的封孔處理為：把陽極氧化處理后的鋁鎂合金放入純水槽液內(nèi)進(jìn)行封孔處理：槽液成分：0.8-1.2g/L的鎳離子、少量醋酸；槽液溫度控制在90℃；槽液的PH值為5.6-6.5；封孔時(shí)間為氧化膜厚度μmx1.3小時(shí)。具體實(shí)施時(shí)，本發(fā)明原理是：以鋁或鋁合金制品為陽極置于電解質(zhì)溶液中,?利用電解作用,?使其表面形成氧化鋁薄膜，當(dāng)電流通過時(shí),?將發(fā)生以下的反應(yīng)：在陰極上,?按下列反應(yīng)放出?H₂：2H?⁺?+2e?→?H₂；在陽極上,?4OH?–?4e→?2H₂O?+?O₂,?析出的氧不僅是分子態(tài)的氧?,?還包括原子氧,?以及離子氧。作為陽極的鋁被其上析出的氧所氧化,?形成無水的A1₂O₃膜。同時(shí)，因?yàn)檠趸垡褐猩倭苛姿岬淖饔茫梢匀コ趸瘜颖砻娴碾s質(zhì)成份，產(chǎn)生氧化層光亮的表面效果。