[發明專利]熱處理裝置有效
| 申請號： | 201210113436.2 | 申請日： | 2012-04-17 |
| 公開（公告）號： | CN102748941A | 公開（公告）日： | 2012-10-24 |
| 發明（設計）人： | 領木直矢;關口大好;巖上祐司 | 申請（專利權）人： | 松下電器產業株式會社 |
| 主分類號： | F27B9/04 | 分類號： | F27B9/04 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 熱處理 裝置 | ||
1.一種熱處理裝置，在構成爐體的壁所圍成的空間即爐體內部中，實施伴隨著向被處理物供給保護氣的熱處理，
所述熱處理裝置具備：
加熱器，其對所述爐體內部的溫度分布進行控制；
第1氣體供給管，其設有沿著第1氣體噴出方向噴出保護氣的第1氣體噴出口；
第2氣體供給管，其在所述第1氣體供給管的外側設有沿著第2氣體噴出方向噴出保護氣的第2氣體噴出口，
在將所述第1氣體噴出口的輪廓向所述第2氣體供給管的內壁面垂直投影時的投影圖中，所述第1氣體噴出口與所述第2氣體噴出口不重疊。
2.根據權利要求1所述的熱處理裝置，其中，
設置在所述第1氣體供給管上的氣體噴出口的中心的在第1氣體供給管的長度方向上的坐標、與設置在所述第2氣體供給管上的氣體噴出口的中心的在第2氣體供給管的長度方向上的坐標不同。
3.根據權利要求1或2所述的熱處理裝置，其中，
所述第1氣體噴出方向與所述第2氣體噴出方向互不相同。
4.根據權利要求1或2所述的熱處理裝置，其中，
在所述第1氣體供給管及所述第2氣體供給管分別設有多個所述第1氣體噴出口及所述第2氣體噴出口。
5.根據權利要求4所述的熱處理裝置，其中，
在將設置于所述第2氣體供給管的多個第2氣體噴出口中的、分別距爐體的兩側壁最近的位置處的兩個第2氣體噴出口之間的區域沿著第2氣體供給管的長度方向進行了三等分時，設置于所述第1氣體供給管的多個第1氣體噴出口在三等分的區域分別配置至少一個。
6.根據權利要求1或2所述的熱處理裝置，其中，
所述第1氣體供給管及所述第2氣體供給管的材質的表面的輻射率為0.5以上。
7.根據權利要求1或2所述的熱處理裝置，其中，
在所述第2氣體供給管的外側具備一個以上的氣體供給管，從而所述熱處理裝置具有第1～第n氣體供給管，n為3以上的整數，
在將設置于第k氣體供給管的、噴出保護氣的第k氣體噴出口的輪廓向所述第(k+1)氣體供給管的內壁面垂直投影時的投影圖中，所述第k氣體噴出口與所述第(k+1)氣體噴出口不重疊，k為2以上且n-1以下的整數。
8.一種多級熱處理裝置，層疊有多個熱處理部，至少一個熱處理部是權利要求1或2所述的熱處理裝置。
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