[發明專利]一種集成電路制造裝備通用控制系統

有效

• 申請號: 201210113197.0
• 申請日: 2012-04-17
• 公開（公告）號: CN102662362A
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發明（設計）人: 徐華;高士云;鄧俊輝;鄒龍慶;徐敏浩;湯彩霞
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 張大威

1.一種集成電路制造裝備通用控制系統，其特征在于，包括：

應用層裝置，用于接收來自工廠主機的主機控制命令以及用戶的配置信息，其中，所述應用層裝置包括：

系統用戶界面模塊，用于接收用戶錄入的硬件設備的配置信息；

工廠管理接口，用于與所述工廠主機進行通信，并接收來自所述工廠主機的

所述主機控制命令，其中所述主機控制命令包括：遠程配方編輯指令和設備控制指令；

邏輯層裝置，用于接收來自所述應用層裝置的主機控制命令和所述配置信息，并根據所述配置信息和所述主機控制命令生成任務指令，其中，所述邏輯層裝置包括：

邏輯層管理模塊，用于對所述配置參數和所述主機控制命令對應的任務進行管理，其中，所述邏輯層管理模塊包括：

配方管理單元，用于根據所述遠程編輯配方指令創建配方名稱空間以及

所述配方名稱空間下的配方，以及對所述配方名稱空間和所述配方進行管理；

任務管理單元，用于調用所述配方管理單元中的所述配方，并根據所述設備控制指令以及所述配方創建對應的硬件設備的任務以及對所述硬件設備的任務進行管理；

硬件設備的控制子系統，用于向所述硬件設備發送任務指令；

設備控制模塊，用于對所述硬件設備的控制子系統進行初始化，并根據所述硬件設備的任務向所述硬件設備的控制子系統發送對應的任務控制指令，所述硬件設備的控制子系統在接收到所述任務控制指令后生成對應的任務指令，其中，所述硬件設備的控制子系統包括傳輸控制子系統和工藝設備控制子系統；以及通信層裝置，用于接收來自所述硬件設備的控制子系統的所述任務指令，并對所述任務指令進行解析封裝，以及將封裝后的任務指令發送給所述硬件設備以控制所述硬件設備執行對應的任務。

2.如權利要求1所述的集成電路制造裝備通用控制系統，其特征在于，所述系統用戶界面模塊包括：

系統配置用戶操作界面，用于向所述用戶提供錄入所述配置信息的界面；

系統監控用戶操作界面，用于向所述用戶提供控制和管理所述配置信息的界面。

3.如權利要求2所述的集成電路制造裝備通用控制系統，其特征在于，所述系統用戶界面模塊還包括：

權限驗證模塊，用于在所述用戶錄入所述配置信息之前，對所述用戶的權限進行驗證。

4.如權利要求1所述的集成電路制造裝備通用控制系統，其特征在于，所述工程管理接口還用于接收來自所述邏輯層管理模塊的采集數據和執行狀態信息，并將所述采集數據和執行狀態信息反饋至所述工廠主機。

5.如權利要求1所述的集成電路制造裝備通用控制系統，其特征在于，所述配方管理單元設置配方標識符，并將所述配方標識符與所述配方名稱空間進行鏈接，并在鏈接成功后從所述配方名稱空間下載所述配方，以及驗證所述配方是否可用。

6.如權利要求1所述的集成電路制造裝備通用控制系統，其特征在于，所述硬件設備的任務包括工藝任務和控制任務，其中，所述工藝任務用于對物料執行工藝處理，所述控制任務用于控制一個或多個所述工藝任務的并行執行。

7.如權利要求1所述的集成電路制造裝備通用控制系統，其特征在于，所述邏輯層管理模塊還包括：

維護管理單元，用于對所述硬件設備進行設備維護、預防性維護以及更新所述硬件設備的狀態；

報警管理單元，用于配置報警信息，并在觸發報警時生成對應的報警信息，將所述報警信息向所述用戶顯示，以及生成用于解除所述報警的異常動作的對應的報警恢復動作；

日志管理單元，用于生成事件記錄，并對所述事件記錄進行掃描和追蹤；

變量管理單元，用于對所述應用層裝置、所述邏輯層裝置和所述通信層裝置的交互過程中的變量進行管理；以及

數據庫管理單元，用于對所述應用層裝置、所述邏輯層裝置和所述通信層裝置的交互過程中的數據進行存儲和管理。

8.如權利要求1所述的集成電路制造裝備通用控制系統，其特征在于，所述邏輯層裝置還包括：仿真模塊，用于動畫模擬系統的運行狀態并向所述用戶呈現。