[發(fā)明專利]復合電流調(diào)制半導體激光干涉儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210109794.6
• 申請日: 2012-04-13
• 公開（公告）號: CN102636109A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發(fā)明（設計）人: 王渤帆;李中梁;王向朝;崔麗君
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02;G01B11/02
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種復合電流調(diào)制半導體激光干涉儀，包括由驅(qū)動電源(1)驅(qū)動的帶有溫度控制器(2)的光源(3)、隔離器(4)、光纖耦合器(5)、準直器(6)、分束鏡(7)、參考反射鏡(9)、第一光電探測器(10)、第二光電探測器(11)、信號處理器(12)和反饋控制器(13)，其特征在于：

所述的驅(qū)動電源(1)輸入端口(1a)與反饋控制器(13)輸出端口相連，第一輸出端口(1b)與光源(3)相連，第二輸出端口(1c)與信號處理器(12)的第三輸入端口(12c)相連；所述的驅(qū)動電源(1)為光源(3)提供直流驅(qū)動電流和正弦交流電流；

由光源(3)發(fā)射的光束通過隔離器(4)并經(jīng)光纖耦合器(5)分為兩束光：一束光通過準直器(6)準直后出射，經(jīng)過分束鏡(7)分束后分別照射在待測物體(8)和參考反射鏡(9)上，由待測物體(8)表面反射的光和由參考反射鏡(9)反射的光再通過分束鏡(7)和準直器(6)后，再經(jīng)過所述的光纖耦合器(5)由第一光電探測器(10)；另一束光由第二光電探測器(11)探測；

所述的信號處理器(12)的第一輸入端口(12a)與第一光電探測器(10)的輸出端相連，第二輸入端口(12b)與第二光電探測器(11)的輸出端相連，第三輸入端口(12c)與驅(qū)動電源(1)的第二輸出端口(1c)相連，輸出端口(12d)與所述的反饋控制器(13)的輸入端口相連；該反饋控制器(13)的輸出端與所述的驅(qū)動電源(1)輸入端口(1a)相連。

2.根據(jù)權利要求1所述的復合電流調(diào)制半導體激光干涉儀，其特征在于所述的信號處理器(12)的結(jié)構(gòu)為：信號處理器(12)的第一輸入端口(12a)和第二輸入端口(12b)與第一除法器(1201)的輸入端相連，第一除法器(1021)的輸出端分別與第三乘法器(1202)和第四乘法器(1207)的第一輸入端相連；信號處理器(12)的第三輸入端口(12c)分別與第三乘法器(1202)第一輸入端和倍頻器(1206)的輸入端相連，所述的第三乘法器(1202)的輸出端與第一低通濾波器(1203)的輸入端相連，該第一低通濾波器(1203)的輸出端同時與第五乘法器(1204)的輸入端和第二除法器(1212)的第一輸入端相連；所述的第五乘法器(1204)與第一單片機(1205)串聯(lián)后接入減法器(1211)的第一輸入端；

所述的倍頻器(1206)的輸出端與第四乘法器(1207)的第二輸入端相連，該第四乘法器(1207)的輸出端與第二低通濾波器(1208)的輸入端相連，該第二低通濾波器(1208)的輸出端同時與第六乘法器(1209)輸入端和第二除法器(1212)的第二輸入端相連，

所述的第六乘法器(1209)的輸出端與第二單片機(1210)串聯(lián)后接入減法器(1211)的第二輸入端，所述的第二除法器(1212)與第三單片機(1213)、第四單片機(1214)串聯(lián)后接入存儲器(1215)；所述的減法器(1211)的輸出通過輸出端口(12d)接入反饋控制器(13)。

3.根據(jù)權利要求1所述的復合電流調(diào)制半導體激光干涉儀，其特征在于所述的反饋控制器(13)的結(jié)構(gòu)包括：由輸入端至輸出端依次是積分器(1301)、第七乘法器(1302)和第二加法器(1303)。

4.根據(jù)權利要求1所述的復合電流調(diào)制半導體激光干涉儀，其特征在于所述的驅(qū)動電源(1)的結(jié)構(gòu)包括：直流電源(101)、低頻晶體振蕩器(102)、高頻晶體振蕩器(103)、第一乘法器(104)、第二乘法器(105)和第一加法器(106)；所述的驅(qū)動電源(1)的輸入端口(1a)與第二乘法器(105)的輸入端相連，直流電源(101)與第一加法器(106)的第一輸入端相連，低頻晶體振蕩器(102)與第一乘法器(104)串聯(lián)后與第一加法器(106)的第二輸入端相連，所述的高頻晶體振蕩器(103)與第二乘法器(105)的第二輸入端相連，該第二乘法器(105)的第一輸出端與第一加法器(106)的第三輸入端相連，第一加法器(106)的第一輸出端(1b)與所述的光源(3)第一輸入端相連，第二乘法器(105)的第二輸出端口(1c)與信號處理器(12)的第三輸入端相連。

5.根據(jù)權利要求1所述的復合電流調(diào)制半導體激光干涉儀，其特征在于所述的第一單片機(1205)、第二單片機(1210)和第四單片機(1214)具有求解最大值和最小值的功能。

6.根據(jù)權利要求1所述的復合電流調(diào)制半導體激光干涉儀，其特征在于所述的第三單片機(1213)具有進行四則運算和求解反正切函數(shù)的功能。