[發(fā)明專利]一種彈性探針

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210108424.0
• 申請日: 2012-04-14
• 公開（公告）號: CN102608365A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周家春;楊彩云;劉德先
• 申請（專利權(quán)）人: 安拓銳高新測試技術(shù)（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 蘇州市新蘇專利事務(wù)所有限公司 32221
• 代理人: 朱建民

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及到半導(dǎo)體和電子連接件行業(yè)，特別涉及到半導(dǎo)體芯片測試裝置?

背景技術(shù)。?

半導(dǎo)體芯片在研發(fā)和量產(chǎn)階段必須經(jīng)過電氣方面的測試，檢驗芯片是否滿足電氣性能的要求。芯片測試針架就是用來測量芯片的整個測試系統(tǒng)中不可缺少的一種測試裝置，如圖1所示,?芯片測試針架100主要包括芯片定位板101,探針保持板102和連接芯片104與測試線路板之間的彈性探針103。探針測試針架100的主要作用是定位測試芯片104和彈性探針103，為了避免彈性探針之間的短路，大多數(shù)探針測試針架都是由絕緣塑料制成。?

???彈性探針起到傳導(dǎo)電流和信號的作用。傳統(tǒng)的探針都是由金屬材料組成，比如用銅合金做基材，外部電鍍金層。如圖2和圖3所示，傳統(tǒng)的彈性探針有兩種結(jié)構(gòu)：一種是單動針，如圖2所示，上測試針體和套筒一起移動；另一種是雙動針，如圖3所示，上下測試針體移動，套筒不動。通常、彈性探針有四個部件：上測試針體301、彈簧302、套筒303和下測試針體304。在外力的作用下，上測試針體301（或者和套筒303一起）上下移動，從而通過上測試針體301，下測試針體304傳導(dǎo)電流信號。?

近年來,隨著芯片測試頻率和帶寬不斷提高,要求其探針測試針架也要能滿足高頻測試下的需求。為此已經(jīng)開發(fā)出由金屬材料和絕緣塑料組成的同軸高頻測試針架。?

這種新開發(fā)出來的典型的同軸結(jié)構(gòu)的可控電抗測試針架，中間零件為接地銅塊，同時彈性探針的直徑與接地銅塊的孔徑保證特定的比例，保證和輸入輸出端的電抗相匹配，以降低信號傳輸過程中的損失。為了確保彈性探針不接觸到接地銅塊，避免造成探針之間的相互短路，采用絕緣塑料材料做為芯片定位板和探針保持板，以固定和保證彈性探針的相互絕緣。但這樣做，會使此種結(jié)構(gòu)的測試針架的用途有了一定的限制：由于芯片定位板和探針保持板的材質(zhì)均為絕緣材料，成為一種不完全的同軸結(jié)構(gòu)。大大影響了信號在傳輸過程中的完成性。由于結(jié)構(gòu)限制，芯片定位板的厚度相對較薄，強度較弱。當(dāng)彈性探針的數(shù)量變得更多時。芯片定位板會在探針的合力下產(chǎn)生變形。從而大大影響芯片測試針架的性能。?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，在開發(fā)一種新的高頻測試針架替代傳統(tǒng)的同軸可控電抗測試針架的同時，提出一種新的彈性探針，使芯片定位板、探針保持板中間的孔徑與彈性探針的直徑的比保證在特定的比例值上，以滿足可控電抗的要求，從而使高頻測試針架能夠達到測試高頻信號的需求。?

本發(fā)明是通過以下的技術(shù)措施來實現(xiàn)的。一種彈性探針，包括套筒、從上而下設(shè)置在套筒內(nèi)的上測試針體、彈簧和下測試針體；與此同時，在彈性探針的不同位置設(shè)置絕緣套圈。?

所述的絕緣套圈用特氟龍材料、陶瓷材料、或者絕緣材料制成。?

在所述的彈性探針的上測試針體上設(shè)置凹槽，所述的絕緣套圈固定在凹槽內(nèi)。?

在所述的彈性探針的不同位置上設(shè)置兩個絕緣套圈。?

所述的絕緣套圈設(shè)置在下測試針體上。?

本發(fā)明采用上述技術(shù)措施后，絕緣套圈能夠避免彈性探針接觸到探針定位板上的定位孔。還可以支撐彈性探針在較大的定位孔內(nèi)自由垂直移動，不會發(fā)生傾斜；而且能夠避免彈性探針從上定位孔里彈出，或者從下定位孔里彈出。絕緣套圈固定在套筒上能夠使套筒較直的定位在探針定位孔里，從而能使上下測試針體能夠穩(wěn)定地在套筒內(nèi)上下移動。?

附圖說明

附圖1為現(xiàn)有技術(shù)中探針測試針架結(jié)構(gòu)示意圖；??

?附圖2為現(xiàn)有技術(shù)中單動式彈性探針的結(jié)構(gòu)示意圖；

附圖3為現(xiàn)有技術(shù)中雙動式彈性探針的結(jié)構(gòu)示意圖；??

附圖4為本發(fā)明實施例1的彈性探針的結(jié)構(gòu)示意圖；?

附圖5為附圖4的A部放大圖；??

附圖6為本發(fā)明實施例1的彈性探針的布置示意圖；??

附圖7為本發(fā)明實施例2的彈性探針的結(jié)構(gòu)示意圖；??

附圖8為附圖7的B部放大圖；?

附圖9為本發(fā)明實施例2的彈性探針的布置示意圖；

附圖10為本發(fā)明實施例3的彈性探針的結(jié)構(gòu)示意圖；??

附圖11為附圖10的C部放大圖；?

附圖12為本發(fā)明實施例3的彈性探針的布置示意圖；?

附圖13為本發(fā)明實施例4的彈性探針的結(jié)構(gòu)示意圖；??

附圖14為附圖10的D部放大圖；?

附圖15為本發(fā)明實施例4的彈性探針的布置示意圖。

具體實施方式

?下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步說明。?