[發明專利]一種防太陽能電池減反射絨面產生黑紋的絨面制備方法無效
| 申請號: | 201210108357.2 | 申請日: | 2012-04-13 |
| 公開(公告)號: | CN102629642A | 公開(公告)日: | 2012-08-08 |
| 發明(設計)人: | 韓帥君;劉緒紅;梁冬青;段少雷;李洋 | 申請(專利權)人: | 上海超日(洛陽)太陽能有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;C30B33/10;C23F1/24 |
| 代理公司: | 洛陽市凱旋專利事務所 41112 | 代理人: | 陸君 |
| 地址: | 471900*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 太陽能電池 反射 產生 制備 方法 | ||
1.一種防太陽能電池減反射絨面產生黑紋的絨面制備方法,其特征是:所述的方法步驟如下:
A、將HF和HN03混合后的混合溶液溫度控制在6~8度;
B、待將混合溶液輸入至溶液槽內后,利用機械臂把放有硅片的硅片承載盒放入溶液槽中的混合溶液內,使硅片承載盒內的硅片浸泡于混合溶液中進行減反射絨面制備;
C、制備結束,打開在溶液槽槽底設置的出液口,將溶液槽內的混合溶液排出;
D、當溶液槽內的混合溶液排完后密閉出液口,然后利用噴淋裝置對溶液槽中硅片承載盒內的硅片進行噴淋以沖刷掉殘留在硅片表面的混合溶液;
E、噴淋結束,打開在溶液槽槽底設置的出液口,將溶液槽內的水液排出;
F、待溶液槽內的水液排完后密閉出液口,利用機械臂將放有硅片的硅片承載盒提取出溶液槽進行后續工序。
2.根據權利要求1所述的防太陽能電池減反射絨面產生黑紋的絨面制備方法,其特征是:所述的方法是通過在放置混合溶液的容器內安置冷卻水盤管,并根據混合溶液的溫度調節在冷卻水盤管中循環引入的冷卻水水量,從而將混合溶液的溫度控制在6~8度。
3.根據權利要求1所述的防太陽能電池減反射絨面產生黑紋的絨面制備方法,其特征是:所述方法中在進行減反射絨面制備時,硅片承載盒內的硅片需要浸泡在混合溶液中2~5分鐘。
4.根據權利要求1所述的防太陽能電池減反射絨面產生黑紋的絨面制備方法,其特征是:所述方法中在沖刷殘留在硅片表面的混合溶液時,噴淋裝置需要對硅片噴淋1~3分鐘。
5.根據權利要求1或4所述的防太陽能電池減反射絨面產生黑紋的絨面制備方法,其特征是:應用所述方法的噴淋裝置為安裝在溶液槽槽蓋板上的噴淋管,以及在噴淋管管頭設置的對應硅片承載盒盒內硅片的噴嘴。
6.根據權利要求1或4所述的防太陽能電池減反射絨面產生黑紋的絨面制備方法,其特征是:所述方法中噴淋出的是18MΩ的純水。
7.根據權利要求1所述的防太陽能電池減反射絨面產生黑紋的絨面制備方法,其特征是:應用所述方法的溶液槽槽底設置有一個用于輪換排出混合溶液及噴淋水液的出液口,或者是分別設置有用于排出混合溶液和排出噴淋水液的出液口。
8.根據權利要求1或7所述的防太陽能電池減反射絨面產生黑紋的絨面制備方法,其特征是:所述的出液口設置有氣動閥。
9.根據權利要求1所述的防太陽能電池減反射絨面產生黑紋的絨面制備方法,其特征是:所述方法中排出的混合溶液能夠循環利用。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





