[發明專利]低溫泵及真空排氣方法有效
| 申請號： | 201210108074.8 | 申請日： | 2012-04-13 |
| 公開（公告）號： | CN102734124A | 公開（公告）日： | 2012-10-17 |
| 發明（設計）人： | 福田獎 | 申請（專利權）人： | 住友重機械工業株式會社 |
| 主分類號： | F04B37/08 | 分類號： | F04B37/08 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿軍 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 低溫泵 真空 排氣 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種低溫泵，其用于進行用來向目標照射射束的射束照射裝置中的射束路徑的真空排氣，其特征在于，該低溫泵具備：
用于將氣體分子捕捉在表面上的低溫板；
用于冷卻所述低溫板的制冷機；及
能夠從所述射束照射裝置接收表示其運行模式的控制信號，且用于根據該控制信號控制所述制冷機的控制部，
所述運行模式包括向目標照射射束的照射模式與從所述目標移開射束或使射束以弱于該照射模式的級別繼續存在的空閑模式，
所述控制部控制所述制冷機，以便在所述照射模式及所述空閑模式下所述低溫板被冷卻成保持所述氣體分子的冷卻溫度，所述控制部容許在所述空閑模式期間的至少一部分中將所述冷卻溫度設為高于所述照射模式的溫度。
2.如權利要求1所述的低溫泵，其特征在于，
所述控制部控制所述制冷機，以便在所述空閑模式期間的至少一部分中，為了冷卻所述低溫板而將熱連接于該低溫板的所述制冷機的冷卻臺冷卻至17K以上且不到20K。
3.一種真空排氣方法，使用低溫泵對射束路徑進行真空排氣，其特征在于，該方法包括：
向目標照射射束的步驟；及
從該目標移開射束來保持射束或以低于照射至該目標時的強度將射束保持在所述路徑上，從而代替向目標照射射束的步驟，
并且包括在保持所述射束期間的至少一部分中，使所述低溫泵的排氣速度低于將射束照射至目標時的排氣速度的步驟。
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