[發明專利]TEM的無失真消像散有效
| 申請號： | 201210107945.4 | 申請日： | 2012-04-13 |
| 公開（公告）號： | CN102737933A | 公開（公告）日： | 2012-10-17 |
| 發明（設計）人： | M.比肖夫;A.亨斯特拉;U.呂肯;P.C.蒂梅杰 | 申請（專利權）人： | FEI公司 |
| 主分類號： | H01J37/153 | 分類號： | H01J37/153 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;盧江 |
| 地址： | 美國俄*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | tem 失真 消像散 | ||
1.一種帶電粒子裝置，配備有用于發射帶電粒子束的帶電粒子源（202），在所述束的下游跟隨有聚光器光學器件（208）、跟隨有樣本位置、跟隨有物鏡（214）、跟隨有成像光學器件（216）并且跟隨有檢測器系統（218，224），其中在所述物鏡與所述檢測器系統之間，第一消像散器（250）被定位用于在將樣本（210）成像于檢測器系統上時減少像散并且第二消像散器（252）被定位用于在衍射平面成像于檢測器系統上時減少像散，其特征在于第三消像散器（254）定位于所述物鏡與所述檢測器系統之間，因而產生第三自由度用于減少線性失真。
2.根據權利要求1所述的裝置，其中所述三個消像散器（250，252，254）定位于所述物鏡（214）與所述成像光學器件（216）之間，因而當改變所述成像光學器件的設置時無需改變所述消像散器的激勵。
3.根據任一前述權利要求所述的裝置，所述裝置配備有具有用戶界面的控制器，所述用戶界面示出用于控制所述消像散器（250，252，254）的控件，所述控件以圖像像散、衍射像散和線性像散與獨立控件關聯這樣的方式控制所述消像散器。
4.根據任一前述權利要求所述的裝置，其中所述裝置是透射電子顯微鏡或者掃描透射電子顯微鏡。
5.一種使用根據任一前述權利要求所述的裝置的方法，所述方法包括激勵所述第一消像散器以在對所述樣本成像時減少像散并且激勵所述第二消像散器以在對所述衍射平面成像時減少像散，其特征在于所述方法包括激勵所述第三消像散器以減少線性失真。
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