[發明專利]一種對觸控面板中的黑矩陣進行圖案化的方法無效
| 申請號: | 201210104049.2 | 申請日: | 2012-04-09 |
| 公開(公告)號: | CN102621736A | 公開(公告)日: | 2012-08-01 |
| 發明(設計)人: | 廖金閱;湯侑穎;林城興;郭威宏;周詩博 | 申請(專利權)人: | 友達光電股份有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/1335 | 分類號: | G02F1/1335;G02F1/133;G06F3/041 |
| 代理公司: | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金國 |
| 地址: | 中國臺灣新竹科*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 面板 中的 矩陣 進行 圖案 方法 | ||
技術領域
本發明涉及觸控面板,尤其涉及對該觸控面板中的黑矩陣進行圖案化的方法。
背景技術
當前,對于廣泛應用在電子產品中用以顯示圖像的薄膜液晶顯示器(Thin?Film?Transistor?Liquid?Crystal?Display,TFT-LCD)而言,其可稱為繼集成電路(IC)后最重要的電子產品之一。尤其地,薄膜制程為薄膜液晶顯示器的發展中最重要的一環,也占有最高的資本支出。若能針對關鍵制程、設備及原料的研究和開發,即可節省大量的購置成本,以提升產業競爭力。
以觸控面板為例,在彩色濾光片玻璃基板的底層鍍有一層金屬膜,也被稱為黑矩陣(Black?Matrix,BM)。該黑矩陣的主要功能包括提高顏色對比度、防止顏色混雜和防止漏光。一般地,為了滿足黑矩陣的上述功能,應當采用多層膜干涉的原理,形成具有低反射率(高對比)、高光學密度(防止顏色混雜和漏光)且總厚度約為100~300nm的BM多層膜。例如,BM的制作主要采用濺鍍方式,其普遍采用的材質為鉻或氧化鉻、鉬或氧化鉬及氮化鉻,以完成BM多層膜的干涉濺鍍。
然而,現有技術中,濕熱測試之后在FPC粘合區域內的BM剝離的情形只會在有機材料制成的BM中發生,而不會在無機材料制成的BM中發生。此外,對于以有機材料BM為主的TFT陣列制造來說,轉換成無機顯影劑和回收系統也是較為繁瑣的,而且轉換成本十分昂貴。
有鑒于此,如何設計一種新穎的薄膜制程,以便解決觸控面板的BM剝離情形,降低制造或轉換成本,是業內相關技術人員亟待解決的一項課題。
發明內容
針對現有技術中的BM剝離制程所存在的上述缺陷,本發明提供了一種對觸控面板中的黑矩陣進行圖案化的方法。
依據本發明的一個方面,提供了一種對觸控面板中的黑矩陣進行圖案化的方法,包括以下步驟:
提供一玻璃基板和一緩沖層,所述緩沖層位于所述玻璃基板的上方;
提供一剝膠遮罩層于所述緩沖層的上方,其中,所述剝膠遮罩層覆蓋所述觸控面板的顯示區;
涂敷一無機材料的黑矩陣層于所述緩沖層和所述剝膠遮罩層各自的表面;以及
剝離所述剝膠遮罩層,以形成圖案化的黑矩陣層。
優選地,在上述涂敷黑矩陣層的步驟之后還包括:提供一第二緩沖層于所述黑矩陣層的上方;以及涂敷一金屬層于所述第二緩沖層的上表面。
優選地,該金屬層為一透明電極層。更優選地,透明電極層由氧化銦錫(ITO)或氧化銦鋅(IZO)材料制成。
優選地,該觸控面板采用單片式玻璃觸控(OGS,One?Glass?Solution)工藝進行制作。
采用本發明的對觸控面板的黑矩陣進行圖案化的方法,設置一剝膠遮罩層于緩沖層的上方,使該剝膠遮罩層覆蓋觸控面板的顯示區,然后涂敷一無機材料的黑矩陣層于緩沖層的表面和剝膠遮罩層的表面,從而在剝離該剝膠遮罩層后形成圖案化的黑矩陣層。無機材料的黑矩陣層相較于有機材料的黑矩陣層不會有剝離的情形。此外,在黑矩陣層上還可依次沉積另一緩沖層和一金屬層,從而減少該緩沖層的蝕刻時間。
附圖說明
讀者在參照附圖閱讀了本發明的具體實施方式以后,將會更清楚地了解本發明的各個方面。其中,
圖1示出依據本發明的一個方面,用于對觸控面板中的黑矩陣進行圖案化的方法的流程框圖;
圖2示出采用圖1中的方法進行薄膜制程的一具體實施例;以及
圖3示出采用圖1中的方法進行薄膜制程的另一具體實施例。
具體實施方式
為了使本申請所揭示的技術內容更加詳盡與完備,可參照附圖以及本發明的下述各種具體實施例,附圖中相同的標記代表相同或相似的組件。然而,本領域的普通技術人員應當理解,下文中所提供的實施例并非用來限制本發明所涵蓋的范圍。此外,附圖僅僅用于示意性地加以說明,并未依照其原尺寸進行繪制。
下面參照附圖,對本發明各個方面的具體實施方式作進一步的詳細描述。
如前所述,在現有的薄膜制程工藝中,于觸控面板濕熱測試之后,在FPC粘合區域內的BM剝離只能在有機材料制成的BM中被監測,而無法在無機材料制成的BM中進行檢查。另一方面,對于TFT陣列晶圓來說,轉換成無機顯影劑和回收系統也較為繁瑣,而且轉換成本十分昂貴。為了有效地解決對于BM材質的依賴性,本發明提出了一種新穎的制程方法。
圖1示出依據本發明的一個方面,用于對觸控面板中的黑矩陣進行圖案化的方法的流程框圖。
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