[發(fā)明專利]可變偏振照明系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210103992.1
• 申請(qǐng)日: 2012-04-11
• 公開（公告）號(hào): CN103365104A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹昌智
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G02F1/09
• 代理公司: 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種可變偏振照明系統(tǒng)，包括激光光源、偏振片、法拉第旋光裝置、勻光模塊、掩膜和高數(shù)值孔徑物鏡，其中線偏振光的旋轉(zhuǎn)角度????????????????????????????????????????????????滿足以下公式：

其中是維爾德常數(shù)，為磁感強(qiáng)度，為光通過的介質(zhì)的厚度，n為法拉第旋光裝置的線圈匝數(shù)，為真空磁導(dǎo)率，I為電流強(qiáng)度；

通過調(diào)整施加到所述法拉第旋光裝置中線圈上的電流強(qiáng)度調(diào)整線偏振光的偏振角度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變偏振照明系統(tǒng)，其中，所述掩膜設(shè)置有線條，穿過所述法拉第旋光裝置的線偏振光的偏振角度平行于所述掩膜上的線條。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變偏振照明系統(tǒng)，其中，所述偏振片的偏振方向與所述激光光源發(fā)出的光的偏振方向相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的照明系統(tǒng)，其中，從所述激光光源出射的是S偏振光，所述偏振片為S方向偏振片。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變偏振照明系統(tǒng)，其中，所述材料為稀土玻璃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變偏振照明系統(tǒng)，其中，所述法拉第旋光裝置被放置于光束測(cè)量調(diào)節(jié)模塊中。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變偏振照明系統(tǒng)，其中，所述激光光源為準(zhǔn)分子激光器。