[發(fā)明專利]一種用于光刻機(jī)的浸沒控制裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210103398.2
• 申請(qǐng)日: 2012-04-10
• 公開（公告）號(hào): CN102621818A
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李金龍;胡松;趙立新;李蘭蘭;盛壯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 11251
• 代理人: 楊學(xué)明;顧煒

1.一種用于光刻機(jī)浸沒控制裝置，在光刻機(jī)的投影透鏡組末端元件(1)和待刻硅片(3)間設(shè)置的該浸沒控制裝置(2)，其特征在于：所述的浸沒控制裝置(2)包括：蓋板(5)、外構(gòu)件(6)和內(nèi)構(gòu)件(7)，蓋板(5)為環(huán)形板，其上由中心向外沿徑向依次開有注液口(17)、出液口(20)、進(jìn)氣口(8)；外構(gòu)件(6)為帶有階梯形狀的環(huán)形板；內(nèi)構(gòu)件(7)為環(huán)形板，其外側(cè)為階梯形狀，外構(gòu)件(6)與內(nèi)構(gòu)件(7)的階梯形狀相配合，共同構(gòu)成儲(chǔ)氣槽(9)和狹縫(10)，內(nèi)側(cè)為與投影透鏡組末端元件(1)形狀相匹配的錐形，其下部沿徑向向外依次開有：出液下環(huán)槽(15)、環(huán)形均壓槽(11)，內(nèi)構(gòu)件(7)的環(huán)形均壓槽(11)內(nèi)固定有彈性元件(12)，內(nèi)構(gòu)件(7)的出液下環(huán)槽內(nèi)(15)固定有多孔介質(zhì)(16)，其上部沿徑向向外依次開有扇形槽(19)、注液孔(17)、出液上環(huán)槽(13)，其中出液上環(huán)槽(13)與出液下環(huán)槽(15)通過均布的通孔(14)連接；浸沒液體(4)經(jīng)注液口(17)、注液孔(18)進(jìn)入扇形槽(19)，沿扇形槽(19)的邊緣填充投影透鏡組末端元件(1)和硅片(3)間的間隙；出液口(20)連接真空低壓，當(dāng)浸沒液體流經(jīng)多孔介質(zhì)(16)時(shí)經(jīng)出液下環(huán)槽(15)、通孔(14)進(jìn)入出液上環(huán)槽，再被真空吸附經(jīng)出液口(17)流出該浸沒曝光裝置(2)；外部加壓氣體經(jīng)進(jìn)氣口(8)注入儲(chǔ)氣槽(9)，再經(jīng)狹縫(10)進(jìn)入該浸沒控制裝置(2)下表面和硅片(3)間的間隙形成邊緣狹縫氣密封。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述浸沒控制裝置，其特征在于：所述內(nèi)構(gòu)件(7)的扇形槽(19)角度為60°-120°。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述浸沒控制裝置，其特征在于：所述外構(gòu)件(6)與內(nèi)構(gòu)件(7)與蓋板(5)通過螺釘連接并采用O型圈進(jìn)行氣密封。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述浸沒控制裝置，其特征在于：所述外構(gòu)件(6)的下表面與內(nèi)構(gòu)件(7)的下表面在同一水平面。