[發(fā)明專利]機電變換器和光聲裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210102975.6
• 申請日: 2012-04-10
• 公開（公告）號: CN102738383A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 虎島和敏;笠貫有二
• 申請（專利權(quán)）人: 佳能株式會社
• 主分類號: H01L41/09
• 分類號: H01L41/09;H01L41/22
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 楊小明

1.一種具有至少一個單元的機電變換器，在所述單元中，振動膜被能振動地支承，所述振動膜包含兩個電極中的一個電極，所述兩個電極被設(shè)置為在它們之間插入間隙，所述機電變換器包括：

應(yīng)力松弛層，所述應(yīng)力松弛層被設(shè)置在所述振動膜上；和

光反射層，所述光反射層被設(shè)置在所述應(yīng)力松弛層上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機電變換器，其中，所述單元由基板、在所述基板的一個表面?zhèn)鹊牡谝浑姌O、具有第二電極的振動膜、以及振動膜支承部分形成，所述振動膜支承部分支承所述振動膜，以在所述第一電極與所述振動膜之間形成間隙。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機電變換器，還包括被設(shè)置在所述應(yīng)力松弛層與所述光反射層之間的支承所述光反射層的光反射層支承層，其中，所述光反射層支承層具有比所述應(yīng)力松弛層的剛性高的剛性。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機電變換器，其中，所述應(yīng)力松弛層具有1MRayls或更大且2MRayls或更小的聲阻抗。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機電變換器，其中，所述應(yīng)力松弛層具有0MPa或更大且100MPa或更小的楊氏模量。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的機電變換器，其中，所述光反射層支承層具有1MRayls或更大且5MRayls或更小的聲阻抗。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的機電變換器，其中，所述光反射層支承層具有100MPa或更大且20GPa或更小的楊氏模量。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機電變換器，其中，所述應(yīng)力松弛層由聚二甲基硅氧烷制成。

9.一種光聲裝置，所述光聲裝置包括根據(jù)權(quán)利要求1的機電變換器、光源和數(shù)據(jù)處理裝置，其中，

所述機電變換器接收當(dāng)被檢體被從所述光源發(fā)射的振蕩光輻照時所產(chǎn)生的聲波，并且將所述聲波轉(zhuǎn)換為電信號，并且

所述數(shù)據(jù)處理裝置使用所述電信號來產(chǎn)生圖像數(shù)據(jù)。