[發明專利]背面入射型測距傳感器以及測距裝置

有效

• 申請號: 201210102539.9
• 申請日: 2008-07-02
• 公開（公告）號: CN102623473A
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發明（設計）人: 間瀬光人;鈴木高志;水野誠一郎;武村光隆
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種背面入射型測距傳感器，其特征在于，

具備：

具有光入射面和與所述光入射面相反的一側的表面的半導體基板；

設置于所述表面上的光電柵極；

在所述表面上與所述光電柵極鄰接地設置的第1和第2柵極；以及

用于分別讀取從所述光電柵極的正下方的區域流入所述第1和第2柵極的正下方的區域的載流子的第1和第2半導體區域。

2.如權利要求1所述的背面入射型測距傳感器，其特征在于，

所述半導體基板具有由多個像素構成的攝像區域，

所述各個像素具有：

所述光電柵極；

所述第1和第2柵極；和

所述第1和第2半導體區域。

3.如權利要求1所述的背面入射型測距傳感器，其特征在于，

所述第1和第2半導體區域的導電型與所述半導體基板的導電型不同，所述第1和第2半導體區域形成在阱區域內，所述阱區域的導電型是與所述半導體基板相同的導電型，所述第1和第2半導體區域具有比所述半導體基板的雜質濃度更高的雜質濃度。

4.一種測距裝置，其特征在于，

具備：

如權利要求1～3中任一項所述的背面入射型測距傳感器；

射出近紅外光的光源；

向所述光源賦予脈沖驅動信號的驅動電路；

向所述第1和第2柵極賦予與所述脈沖驅動信號同步的檢測用柵極信號的控制電路；以及

由從所述第1和第2半導體區域讀取的信號運算到對象物為止的距離的運算電路。

5.一種測距裝置，其特征在于，

將如權利要求1～3中任一項所述的背面入射型測距傳感器的所述表面固定于配線基板的貼裝面上，使所述光電柵極、所述第1柵極和所述第2柵極經由凸塊而連接于所述配線基板上的配線。