[發明專利]鰭部、鰭部及鰭式場效應晶體管的形成方法有效
| 申請號: | 201210101863.9 | 申請日: | 2012-04-09 |
| 公開(公告)號: | CN103367131A | 公開(公告)日: | 2013-10-23 |
| 發明(設計)人: | 禹國賓 | 申請(專利權)人: | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/28 | 分類號: | H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 駱蘇華 |
| 地址: | 201203 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 鰭部 場效應 晶體管 形成 方法 | ||
技術領域
本發明涉及半導體制作領域,特別涉及一種鰭部、鰭部及鰭式場效應晶體管的形成方法。
背景技術
隨著半導體工藝技術的不斷發展,隨著工藝節點逐漸減小,后柵(gate-last)工藝得到了廣泛應用,來獲得理想的閾值電壓,改善器件性能。但是當器件的特征尺寸(CD,Critical?Dimension)進一步下降時,即使采用后柵工藝,常規的MOS場效應管的結構也已經無法滿足對器件性能的需求,鰭式場效應晶體管(Fin?FET)作為常規器件的替代得到了廣泛的關注。
圖1示出了現有技術的一種鰭式場效應晶體管的立體結構示意圖。如圖1所示,包括:半導體襯底10,所述半導體襯底10上形成有凸出的鰭部14,鰭部14一般是通過對半導體襯底10刻蝕后得到的;介質層11,覆蓋所述半導體襯底10的表面以及鰭部14的側壁的一部分;柵極結構12,橫跨在所述鰭部14上,覆蓋所述鰭部14的頂部和側壁,柵極結構12包括柵介質層(圖中未示出)和位于柵介質層上的柵電極(圖中未示出)。
隨著半導體技術的發展,器件結構進一步等比縮小,當電源電壓低于1V時,普通體硅CMOS電路速度劇減,這是因為當降低閾值電壓時,很難做到不使器件電流驅動性能下降、不增大靜態泄漏電流。加之,器件驅動性能的下降因器件寄生效應、內層互連布線和結電容的增加而顯得更為嚴重。因此,為了實現CMOS芯片的高速、低功耗,必須在以下幾個方面進行技術上的革新,如更新IC設計,采用新型材料(如SOI、低K介質材料),低阻金屬(Cu)互連。更新體硅IC設計必將增加電路的復雜性,從而增加IC制造成本?,F有技術中,為了提高器件的性能,采用SOI(silicon-on-insulator,絕緣體上硅)結構形成鰭式晶體管。
圖2~圖3為現有技術中利用SOI結構形成鰭式場效應晶體管的方法,現有技術中利用SOI結構形成鰭式場效應晶體管的方法包括:參考圖2,提供SOI襯底,該SOI襯底包括第一半導體襯底21,位于第一半導體襯底21上的埋層22,位于埋層22上的第二半導體襯底23;參考圖3,圖形化第二半導體襯底23形成鰭部24。之后形成柵極結構、源極和漏極。
更多關于鰭式場效應晶體管請參考專利號為“US7868380B2”的美國專利。
但現有形成的鰭式場效應晶體管的驅動電流仍比較小。
發明內容
本發明解決的問題是提供一種鰭部、鰭部及鰭式場效應晶體管的形成方法,提高了鰭式場效應晶體管的驅動電流。
為解決上述問題,本發明提供了一種鰭部的形成方法,包括:
提供半導體襯底,所述半導體襯底具有第一子鰭部;
形成覆蓋所述半導體襯底表面的犧牲層,所述犧牲層的表面與第一子鰭部的頂部表面平齊;
去除部分厚度的第一子鰭部,形成凹槽,剩余的第一子鰭部作為第一鰭部;
在凹槽的底部形成硅鍺層,在硅鍺層表面形成單晶硅層,單晶硅層的表面與犧牲層的表面平齊;
去除部分厚度的犧牲層,暴露出硅鍺層的側壁;
沿硅鍺層的兩側去除部分寬度的硅鍺層,形成第二鰭部。
可選的,所述沿硅鍺層的兩側去除部分寬度的硅鍺層的工藝為干法刻蝕工藝。
可選的,所述干法刻蝕工藝采用的氣體為HCl或CF4。
可選的,所述干法刻蝕工藝的反應腔壓力為5~500torr。
可選的,所述第一子鰭部的去除厚度為5~50納米。
可選的,所述硅鍺層的厚度為1~5納米。
可選的,所述硅鍺層的去除的寬度為硅鍺層原寬度的10%~90%。
可選的,所述硅鍺層中鍺原子的百分比含量為10%~60%。
可選的,所述硅鍺層和單晶硅層的形成工藝為外延工藝。
可選的,所述犧牲層的材料為二氧化硅、氮化硅或氮氧化硅。
可選的,所述單晶硅層中還摻雜有雜質離子。
可選的,所述雜質離子為硼離子、磷離子或砷離子。
可選的,所述單晶硅層中硼離子、磷離子或砷離子的摻雜濃度為1E14~8E21atom/cm3。
本發明實施例還提供了一種鰭式場效應晶體管的形成方法,包括:
形成第一鰭部和第二鰭部;
在第二鰭部表面形成柵極結構;
在第二鰭部兩端的半導體襯底內形成源極/漏極。
可選的,所述柵極結構還覆蓋第一鰭部的表面。
可選的,所述柵極結構還覆蓋部分第一鰭部的表面。
本發明還提供了一種鰭部,包括:
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





