[發明專利]子孔徑拼接檢測非球面調整誤差補償方法有效
| 申請號： | 201210101164.4 | 申請日： | 2012-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN102620683A | 公開（公告）日： | 2012-08-01 |
| 發明（設計）人： | 王孝坤 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 長春菁華專利商標代理事務所 22210 | 代理人： | 張偉 |
| 地址： | 130033 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 孔徑 拼接 檢測 球面 調整 誤差 補償 方法 | ||
【權利要求書】：
1.子孔徑拼接檢測非球面調整誤差補償方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：
步驟一：設定干涉儀，使其參考球波前的曲率半徑與待測非球面中心區域的最接近球面半徑吻合；
步驟二：調整干涉儀與待測非球面的相對位置關系，使干涉儀標準球面波前對準非球面待測區域；
步驟三：通過模式搜索誤差補償方法，消除標準球面檢測偏離量較大的待測非球面時產生的調整誤差；
步驟四：通過子孔徑拼接檢測技術，實現全口徑拼接檢測，得到精確的面型結果。
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