[發明專利]Recipe管理方法和系統以及半導體設備控制系統

有效

• 申請號: 201210101132.4
• 申請日: 2012-04-01
• 公開（公告）號: CN103365709B
• 公開（公告）日: 2017-03-22
• 發明（設計）人: 陳玉靜
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: G06F9/46
• 分類號: G06F9/46;G05B19/418
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司11112
• 代理人: 彭瑞欣,張天舒

1.一種用于半導體設備的Recipe管理方法，其特征在于，包括：

判斷RecipeStep信息的RecipeStepName中是否包括預先設置的循環步驟標識，所述循環步驟標識用于標識所述RecipeStep信息中的循環Step內容；

若判斷出所述RecipeStepName中包括所述循環步驟標識，根據獲取的所述循環Step內容和所述循環步驟標識執行Recipe操作指令；

若判斷出所述RecipeStepName中未包括所述循環步驟標識，根據所述RecipeStep信息逐步執行Recipe操作指令。

2.根據權利要求1所述的用于半導體設備的Recipe管理方法，其特征在于，所述根據獲取的所述循環Step內容和所述循環步驟標識執行Recipe操作指令包括：

從所述循環步驟標識中解析出循環起始索引、循環終止索引和循環次數以及從所述RecipeStep信息中獲取的循環Step內容，以及；

根據所述循環Step內容、所述循環起始索引、所述循環終止索引和所述循環次數執行Recipe操作指令。

3.根據權利要求2所述的用于半導體設備的Recipe管理方法，其特征在于，所述Recipe操作指令包括查看Recipe指令；

所述根據循環Step內容、所述循環起始索引、所述循環終止索引和所述循環次數執行Recipe操作指令包括：

根據所述循環起始索引、所述循環終止索引和所述循環次數定義CollapseDataGridView控件，所述CollapseDataGridView控件包括一個或者多個CollapseDataGridRow；

將所述循環Step內容設置為所述CollapseDataGridRow的子行；

將所述CollapseDataGridView控件添加到所述DataGridView控件中；

將所述RecipeStep信息在所述DataGridView控件中顯示。

4.根據權利要求3所述的用于半導體設備的Recipe管理方法，其特征在于，所述CollapseDataGridRow用于標識所述循環Step內容的折疊行。

5.根據權利要求2所述的用于半導體設備的Recipe管理方法，其特征在于，所述循環起始索引用于表示所述RecipeStep信息中所述循環Step內容的起始點，所述循環終止索引用于表示所述RecipeStep信息中所述循環Step內容的終止點，所述循環次數用于表示重復執行所述循環Step內容的次數。

6.根據權利要求5所述的用于半導體設備的Recipe管理方法，其特征在于，所述循環步驟標識表示為[i，j；loopcount]，其中，i為循環起始索引，j為循環終止索引，loopcount為循環次數，所述循環步驟標識表明該循環Step內容為重復執行loopcount次步驟i到步驟j的內容。

7.根據權利要求5所述的用于半導體設備的Recipe管理方法，其特征在于，所述循環起始索引為正整數，所述循環終止索引為正整數，且所述循環終止索引大于所述循環起始索引。

8.一種用于半導體設備的Recipe管理系統，其特征在于，包括：

判斷模塊，用于判斷RecipeStep信息的RecipeStepName中是否包括循環步驟標識；

第一執行模塊，用于若所述判斷模塊判斷出所述RecipeStepName中包括所述循環步驟標識，根據獲取的所述循環Step內容和所述循環步驟標識執行Recipe操作指令；

第二執行模塊，用于若所述判斷模塊判斷出所述RecipeStepName中未包括所述循環步驟標識，根據所述RecipeStep信息逐步執行Recipe操作指令。

9.根據權利要求8所述的用于半導體設備的Recipe管理系統，其特征在于，所述第一執行模塊包括：

獲取子模塊，用于從所述RecipeStep信息中獲取所述循環步驟標識所標識的循環Step內容；

解析子模塊，用于從所述循環步驟標識中解析出循環起始索引、循環終止索引和循環次數；

第一執行子模塊，用于根據所述循環Step內容、所述循環起始索引、所述循環終止索引和所述循環次數執行Recipe操作指令。