[發明專利]液體循環供給裝置

有效

• 申請號: 201210098941.4
• 申請日: 2012-04-06
• 公開（公告）號: CN102737732A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 坂口哲郎
• 申請（專利權）人: SMC株式會社
• 主分類號: G12B15/02
• 分類號: G12B15/02
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 呂林紅

技術領域

本發明涉及向負荷循環地供給冷卻用的液體冷卻該負荷的液體循環供給裝置，進一步詳細地說，涉及使用液體溫度不同的二種液體冷卻負荷的液體循環供給裝置。

背景技術

例如在半導體制造裝置、液晶制造裝置等的各種制造裝置中，為了冷卻發熱的該裝置(負荷)使溫度保持為恒定，從液體循環供給裝置循環地供給冷卻用的液體，冷卻該負荷。在此情況下，如在下述的專利文獻1-3中公開的那樣，為了與負荷的熱量相應地進行高精度的溫度控制，有時也進行如下的情況，即，準備液體溫度不同的二種液體，在通過由多個三通閥等組成的混合組件將適合于負荷的冷卻的液體溫度的液體選擇性地供給，或通過混合上述二種液體使之成為適合于負荷的冷卻的液體溫度的液體的狀態下向該負荷進行供給。

在上述專利文獻1及2中公開的例子中，設置了收容高溫的液體的熱源容器(高溫容器)、收容低溫的液體的冷源容器(低溫容器)和由多個三通閥等組成的混合組件，由該混合組件將上述熱源容器或冷源容器內的液體向負荷適量供給。在專利文獻3中公開的以往例子中也進行大致同樣的操作。

但是，上述以往例子，因為將高溫容器和低溫容器分開地設置在分離的位置，所以不僅兩個容器專用寬闊的設置空間，裝置大型化，而且必須分別實施為了在各個容器上防止結露、防止放熱的絕熱加工，構造復雜化，價格也變高。

另外，從上述二個容器將液體向負荷供給時，伴隨著上述混合組件的切換操作，液體在該二個容器間移動，該二個容器內的液體的液位變動得大而成為不平衡的狀態，容易對在各個容器中的液體的溫度調整造成障礙。因此在專利文獻3中，設置儲水箱吸收在冷卻側(低溫)容器和加熱側(高溫)容器中的液體的增減，但不僅該儲水箱的設置空間更增加，而且如果沒被進行溫度管理的液體從該儲水箱流入上述冷卻側容器及加熱側容器，則在兩容器中的液體的溫度調整也變得更困難。

專利文獻1：日本特開2009-293867號公報

專利文獻2：日本特開2009-287865號公報

專利文獻3：日本特開2008-292026號公報

發明內容

發明所要解決的課題

本發明的目的在于，在使用液體溫度不同的二種液體冷卻負荷的液體循環供給裝置中，在對伴隨著在收容了上述液體的二個容器間的液體的移動的液位變化進行吸收而使在各容器中的液體的溫度調整變得容易的同時，能夠緊湊而且廉價地設置裝置。

為了解決課題的手段

為了達成上述目的，本發明的液體循環供給裝置，其特征在于，具有：外部容器，其收容被調整到所要的溫度的第一液體；內部容器，其以與上述第一液體相比位于上方的方式設置在上述外部容器的內部，收容被調整到與上述第一液體不同的溫度的第二液體；閥裝置，其將上述第一液體及第二液體單獨地或混合地向負荷供給；外部容器用液體循環路，其具有將上述外部容器內的第一液體向上述閥裝置送的外部容器用送出路，和使來自該閥裝置的液體返回到上述外部容器內的外部容器用返回路；內部容器用液體循環路，其具有將上述內部容器內的第二液體向上述閥裝置送的內部容器用送出路，和使來自該閥裝置的液體返回到上述內部容器內的內部容器用返回路；第一開閉閥，其對連結上述外部容器用送出路和內部容器用返回路的第一旁通流路進行開閉；第二開閉閥，其對連結上述內部容器用送出路和外部容器用返回路的第二旁通流路進行開閉；液位傳感器組件，其是分別附設在上述外部容器及上述內部容器上的液位傳感器組件，在上述第一液體和上述第二液體的液位在兩個容器間不平衡的情況下使上述第一開閉閥及第二開閉閥選擇性地開放而調整上述液位。

在本發明的一個構成方式中，上述液位傳感器組件具有外部容器用下限液位傳感器和內部容器用下限液位傳感器，上述外部容器用下限液位傳感器對上述外部容器內的第一液體的液位到達了作為為了穩定運轉的下方界限的下限液位的情況進行檢測，上述內部容器用下限液位傳感器對上述內部容器內的第二液體的液位到達了作為為了穩定運轉的下方界限的下限液位的情況進行檢測，上述外部容器用下限液位傳感器開放上述第二開閉閥，上述內部容器用下限液位傳感器開放上述第一開閉閥。