[發明專利]一種太陽能電池擴散用源瓶

無效

• 申請號: 201210098210.X
• 申請日: 2012-04-06
• 公開（公告）號: CN102628190A
• 公開（公告）日: 2012-08-08
• 發明（設計）人: 錢小鋒;劉志敏;聞明
• 申請（專利權）人: 南京遠景新能源有限公司
• 主分類號: C30B31/16
• 分類號: C30B31/16;H01L31/18
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 王凌霄

技術領域

?本發明涉及一種源瓶，尤其涉及一種太陽能電池擴散用源瓶。

背景技術

常規擴散爐在采用POCl3（三氯氧磷）擴散制PN結時，由于生產過程中源量的不斷消耗而使源量液位降低，氣體攜帶POCl3的能力降低。常規源瓶結構：剛開始的液位為100mm，結束時的液位為20mm，液位落差（比值）=100/20=5，對擴散方塊電阻的影響為8-12Ω/□；對于這種情況，一般通過頻繁的工藝修改或調整等手段將擴散方塊電阻控制在制程以內；因此，這為工藝的穩定、工藝配方的修改或保存及調用帶來麻煩，容易產生管理和控制混亂，造成工藝監督不利或工藝的錯誤調用，為生產帶來極大損失。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種能夠避免工藝的重復修改或調整，使生產制程更加穩定可靠的太陽能電池擴散用源瓶。

為了解決上述技術問題，本發明是通過以下技術方案實現的：一種太陽能電池擴散用源瓶，包括由耐高溫玻璃熔融而成的外瓶，外瓶頂部設置有貫通其內外的進氣口和出氣口，所述位于外瓶內的進氣口末端設置有玻璃導管，所述外瓶內設置有隔層，玻璃導管串通隔層底部。

為了提高源量利用率，進一步地，所述隔層至少有三個。

為了提高整個系統源瓶的密封性，進一步地，所述進氣口和出氣口上端呈凹槽形。

為了防止進氣口所進氣體產生氣泡，再進一步地，所述隔層上設置有氣孔。

為了更好的防止產生氣泡，更進一步地，所述氣孔直徑為8mm。

與現有技術相比，本發明的有益之處是：這種太陽能電池擴散用源瓶優化較易實現，具有實踐意義，同時提高源瓶內三氯氧磷的利用率，優化后的源瓶不會增加額外負擔或工作，對工藝穩定性有較好的控制。

附圖說明：

下面結合附圖對本發明進一步說明。

圖1是本發明一種太陽能電池擴散用源瓶內部結構示意圖；

圖2是圖1中A的局部放大圖。

圖中：1、外瓶；?2、進氣口；?3、出氣口；?4、玻璃導管；?5、隔層；?6、氣孔。

具體實施方式：

下面結合附圖及具體實施方式對本發明進行詳細描述：

圖1所示一種太陽能電池擴散用源瓶，包括由耐高溫玻璃熔融而成的外瓶1，保證了源瓶的長期重復使用而不易變形；所述外瓶1頂部設置有貫通其內外的進氣口2和出氣口3，在進氣口2和出氣口3的上端采用凹槽設計，此設計能提高整個系統源瓶的密封性，使源瓶更安全，也有利于工藝穩定；所述位于外瓶1內的進氣口2末端設置有玻璃導管4，外瓶1內至少設置有三層隔層5，所述玻璃導管4串通隔層5底部；如圖2所示，為了防止進氣口2進入的氣體產生氣泡影響，所述隔層5上設置有直徑為8mm的氣孔6。

工作時，進氣口2作為攜帶氣體通口（如氮氣/氬氣等性質比較穩定的氣體），通過玻璃導管4深入源瓶內三氯氧磷液體的下部，氣體攜帶部分三氯氧磷分子，經由出氣口3將磷源帶入高溫石英管內進行擴散；由于在源瓶內設置了隔層5，因此同時添加的隔層5占用了一部分體積，使得源瓶內三氯氧磷總剩余量降低，即源量利用率提高。

優化后的源瓶剛開始的液位為100mm，結束時的液位為20mm，中間隔層增加的路程≈42+70*2≈182mm，液位落差（比值）≈（100+182）/（20+182）≈1.4，對擴散方塊電阻的影響為1-3Ω/□。因此，這種太陽能電池擴散用源瓶優化較易實現，具有實踐意義，同時提高源瓶內三氯氧磷的利用率，優化后的源瓶不會增加額外負擔或工作，將源量由之前的5:1落差降為1.3～1.5之間，對工藝穩定性有較好的控制。

需要強調的是：以上僅是本發明的較佳實施例而已，并非對本發明作任何形式上的限制，凡是依據本發明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發明技術方案的范圍內。