[發明專利]致動器、光掃描儀以及圖像形成裝置

無效

• 申請號: 201210098125.3
• 申請日: 2012-04-05
• 公開（公告）號: CN102736244A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 日野真希子;溝口安志
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G02B26/10;B81B3/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王軼;李洋

1.一種致動器，其特征在于，具有：

可動部，該可動部能夠繞擺動軸擺動；

連結部，該連結部從上述可動部延伸出來，且伴隨上述可動部的擺動而扭轉變形；以及

支承部，該支承部支承上述連結部，

上述可動部形成為從上述可動部的厚度方向觀察時呈十字狀，

上述連結部的與上述擺動軸垂直的剖面形成為，該連結部的寬度從上述可動部的第一表面朝向與上述第一表面對置的第二表面逐漸增加的形狀。

2.根據權利要求1所述的致動器，其特征在于，

上述觀察時的上述可動部的外形主要由與上述擺動軸平行的線和與上述擺動軸垂直的線構成。

3.根據權利要求1或2所述的致動器，其特征在于，

上述可動部、上述支承部以及上述連結部，通過各向異性蝕刻硅基板而形成。

4.根據權利要求3所述的致動器，其特征在于，

上述可動部的第二表面由硅的100面構成。

5.根據權利要求3或4所述的致動器，其特征在于，

上述可動部的側面主要由硅的111面構成。

6.根據權利要求5所述的致動器，其特征在于，

在上述可動部的側面形成有槽，該槽在與上述可動部的第二表面正交的剖面上呈V字狀。

7.根據權利要求3至6中任意一項所述的致動器，其特征在于，

上述連結部的表面由硅的100面以及111面構成。

8.根據權利要求1至7中任意一項所述的致動器，其特征在于，

上述連結部具有2個梁狀的梁部件。

9.根據權利要求8所述的致動器，其特征在于，

上述梁部件的與上述擺動軸垂直的剖面形成為平行四邊形，

上述2個梁部件間的距離從上述可動部的上述第一表面朝向上述第二表面逐漸增加。

10.根據權利要求1所述的致動器，其特征在于，

上述連結部的與上述擺動軸垂直的剖面形成為梯形。

11.根據權利要求1至10中任意一項所述的致動器，其特征在于，

上述可動部形成為在上述觀察時相對于上述擺動軸對稱的形狀。

12.根據權利要求1至11中任意一項所述的致動器，其特征在于，

上述可動部形成為在上述觀察時相對于通過上述可動部的中心且與上述擺動軸垂直的線對稱的形狀。

13.一種致動器，其特征在于，具有：

可動部，該可動部能夠繞擺動軸擺動；

連結部，其從上述可動部延伸出來，且隨著上述可動部的擺動而扭轉變形；以及

支承部，其支承上述連結部，

上述可動部形成為從上述可動部的厚度方向觀察時，將四方形的四個角的部分分別去掉了矩形而成的形狀，

上述連結部的與上述擺動軸垂直的剖面形成為，該連結部的寬度從上述可動部的第一表面朝向與上述第一表面對置的第二表面逐漸增加的形狀。

14.一種光掃描儀，其特征在于，具有：

可動部，該可動部能夠繞擺動軸擺動且具備具有光反射性的光反射部；

連結部，該連結部從上述可動部延伸出來，且伴隨上述可動部的擺動而扭轉變形；以及

支承部，該支承部支承上述連結部，

上述可動部形成為從上述可動部的厚度方向觀察時呈十字狀，

上述連結部的與上述擺動軸垂直的剖面形成為，該連結部的寬度從上述可動部的第一表面朝向與上述第一表面對置的第二表面逐漸增加的形狀。

15.一種光掃描儀，其特征在于，具有：

可動部，該可動部能夠繞擺動軸擺動且具備具有光反射性的光反射部；

連結部，該連結部從上述可動部延伸出來，且伴隨上述可動部的擺動而扭轉變形；以及

支承部，該支承部支承上述連結部，

上述可動部形成為從上述可動部的厚度方向觀察時，將四方形的四個角的部分分別去掉了矩形而成的形狀，

上述連結部的與上述擺動軸垂直的剖面形成為，該連結部的寬度從上述可動部的第一表面朝向與上述第一表面對置的第二表面逐漸增加的形狀。