[發明專利]低溫泵的蓋結構、低溫泵及其啟動方法以及保管方法

有效

• 申請號: 201210097844.3
• 申請日: 2012-04-05
• 公開（公告）號: CN102734122A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 田中秀和
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: F04B37/08
• 分類號: F04B37/08
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

技術領域

本申請主張基于2011年4月5日申請的日本專利申請第2011-083629號的優先權。其申請的全部內容通過參考援用于本說明書中。

本發明涉及一種用于低溫泵的蓋結構、低溫泵、低溫泵的啟動方法及低溫泵的保管方法。

背景技術

低溫泵為通過凝縮或吸附將氣體分子捕捉于冷卻成超低溫的低溫板來排氣的真空泵。低溫泵普遍為了實現半導體電路制造工藝等所要求的清潔的真空環境而利用。為了吸附氣體，在低溫板上粘著有活性碳。

專利文獻1：日本特開平2-308985號公報

在不使用低溫泵時，例如保管時或傳輸時，低溫板上的吸附劑也能夠吸附周圍的成分。例如，當低溫泵發貨且開始使用其之前外部氣體可進入低溫泵的內部時，吸附劑能夠吸附大量水分。在使用低溫泵之前，利用其他輔助性真空泵真空抽取至低溫泵的工作壓力。這時吸附的成分從活性炭放出，在達到工作壓力之前需要時間。

發明內容

本發明是鑒于這種情況而完成的，其某一方式的例示性目的之一在于以良好的狀態保管低溫泵直至開始使用低溫泵時為止。

本發明的某一方式的蓋結構為用于將低溫泵的內部保持成負壓的蓋結構，所述蓋結構具備用于堵塞低溫泵的泵口的蓋主體，所述蓋主體具有將低溫泵的內部與外部連通的小孔，還具備用于堵塞所述小孔的閉塞部件。

根據該方式，每當開始使用低溫泵之際，能夠以拆卸閉塞部件這樣的簡單工作破壞真空，因此在現實中容易將低溫泵的內部設為真空或負壓來保管。能夠通過對低溫泵的內部進行減壓來以保管當初的良好狀態保持低溫泵、尤其是內置的吸附劑。

本發明的另一方式為低溫泵的啟動方法。該方法包括通過從蓋主體拆卸安裝于低溫泵的蓋結構的閉塞部件來解除低溫泵內部的負壓的步驟。

本發明的另一方式為低溫泵的保管方法。該方法包括用蓋堵塞用于接收由低溫泵排氣的氣體的低溫泵的泵口的步驟、及通過將低溫泵的內部與外部連通的流體路徑對低溫泵的內部進行減壓的步驟。

發明效果

根據本發明能夠良好地保管低溫泵。

附圖說明

圖1是示意地表示本發明的一實施方式所涉及的低溫泵的圖。

圖2是示意地表示用于本發明的一實施方式所涉及的低溫泵的泵蓋的圖。

圖3是用于說明本發明的一實施方式所涉及的低溫泵的保管方法的流程圖。

圖4是用于說明本發明的一實施方式所涉及的低溫泵的啟動方法的流程圖。

圖中：10-低溫泵，11-第1缸，12-第2缸，13-第1冷卻臺，14-第2冷卻臺，20-控制部，30-低溫泵容器，40-放射屏蔽，43-制冷機插通孔，50-制冷機，60-低溫板，70-通氣閥，72-粗抽閥，80-排出管路，82-排出導管，100-泵蓋，102-蓋主體，104-小孔，106-閉塞部件。

具體實施方式

圖1是示意地表示本發明的一實施方式所涉及的低溫泵10的圖。低溫泵10被安裝于例如離子注入裝置或濺射裝置等的真空腔室，為了使真空腔室內部的真空度提高至所期望的工藝所要求的水平而使用。低溫泵10包括低溫泵容器30、放射屏蔽40及制冷機50而構成。

制冷機50為例如吉福特-麥克馬洪式制冷機(所謂的GM制冷機)等制冷機。制冷機50具備第1缸11、第2缸12、第1冷卻臺13、第2冷卻臺14及閥驅動馬達16。第1缸11與第2缸12串聯連接。在第1缸11的與第2缸12的結合部側設置第1冷卻臺13，在第2缸12的遠離第1缸11的一側的端部設置第2冷卻臺14。圖1所示的制冷機50為2級式制冷機，通過串聯且2級組合缸來實現更低的溫度。制冷機50通過制冷劑管18連接于壓縮機52。

壓縮機52壓縮例如氦等制冷劑氣體，即工作氣體，通過制冷劑管18供給至制冷機50。制冷機50使工作氣體根據通過蓄冷器來進行冷卻，并且首先在第1缸11的內部的膨脹室膨脹，接著在第2缸12的內部的膨脹室膨脹，由此進一步進行冷卻。蓄冷器被組裝于膨脹室內部。由此，設置于第1缸11的第1冷卻臺13被冷卻到第1冷卻溫度水平，而設置于第2缸12的第2冷卻臺14被冷卻到低于第1冷卻溫度水平的溫度的第2冷卻溫度水平。例如，第1冷卻臺13被冷卻到65K～100K左右，而第2冷卻臺14被冷卻到10K～20K左右。