[發(fā)明專利]具有遮擋板裝置的反應(yīng)器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210096716.7
• 申請(qǐng)日: 2012-04-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102618845A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何乃明;李可
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種具有遮擋板裝置的反應(yīng)器，包括：

反應(yīng)腔室，所述反應(yīng)腔室包括位于側(cè)壁的開(kāi)口和位于底部的基座，所述開(kāi)口用于放入或取出基片，所述基座用于放置所述基片；

位于所述反應(yīng)腔室內(nèi)的遮擋板裝置，所述遮擋板裝置圍繞所述基座上方的反應(yīng)區(qū)域，且在基片放入反應(yīng)腔室后或者在取出基片后屏蔽所述開(kāi)口；

其特征在于，所述遮擋板裝置包括多個(gè)部件，且至少一個(gè)為可動(dòng)部件，所述可動(dòng)部件具有第一位置和第二位置，其中第一位置與開(kāi)啟的所述開(kāi)口相對(duì)應(yīng)，使開(kāi)口和基座之間形成基片移動(dòng)的通路；

其中所述遮擋板裝置內(nèi)部設(shè)置有水槽，所述水槽包括位于一端的進(jìn)水口和位于另一端的出水口，一冷卻裝置通過(guò)水管與所述水槽的進(jìn)水口和出水口相連。

2.如權(quán)利要求1所述的具有遮擋板裝置的反應(yīng)器，其特征在于，所述可動(dòng)部件的特征尺寸大于等于所述開(kāi)口的寬度。

3.如權(quán)利要求1所述的具有遮擋板裝置的反應(yīng)器，其特征在于，所述遮擋板裝置為圓柱形。

4.如權(quán)利要求3所述的具有遮擋板裝置的反應(yīng)器，其特征在于，所述可動(dòng)部件沿所述遮擋板裝置的軸線方向移動(dòng)。

5.如權(quán)利要求3所述的具有遮擋板裝置的反應(yīng)器，其特征在于，所述可動(dòng)部件沿所述遮擋板裝置的圓周方向移動(dòng)。

6.如權(quán)利要求1所述的具有遮擋板裝置的反應(yīng)器，其特征在于，所述遮擋板裝置包括第一部件和第二部件，所述第一部件為可動(dòng)部件，所述第二部件固定于所述反應(yīng)腔室內(nèi)。

7.如權(quán)利要求6所述的具有遮擋板裝置的反應(yīng)器，其特征在于，所述第一部件與所述第二部件相接觸的邊緣、內(nèi)壁或外壁具有第一定位部，所述第二部件與所述第一部件相對(duì)應(yīng)處具有第二定位部，所述第一定位部和第二定位部相配合，用于第一部件在第一位置和第二位置間移動(dòng)。

8.如權(quán)利要求7所述的具有遮擋板裝置的反應(yīng)器，其特征在于，所述第一定位部為凸起，所述第二定位部為與所述凸起相對(duì)應(yīng)的溝槽；或者所述第一定位部為溝槽，所述第二定位部為與所述溝槽相對(duì)應(yīng)的凸起。

9.如權(quán)利要求1所述的具有遮擋板裝置的反應(yīng)器，其特征在于，還包括：驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置與所述可動(dòng)部件相連，用于驅(qū)動(dòng)所述可動(dòng)部件在第一位置和第二位置間移動(dòng)。

10.如權(quán)利要求1所述的具有遮擋板裝置的反應(yīng)器，其特征在于，所述遮擋板裝置的多個(gè)部件分別通過(guò)多個(gè)連接柱與反應(yīng)腔室頂壁向連接。

11.如權(quán)利要求10所述的具有遮擋板裝置的反應(yīng)器，其特征在于，所述冷卻裝置與所述遮擋板裝置內(nèi)水槽連接的水管位于所述連接柱內(nèi)。

12.如權(quán)利要求11所述的具有遮擋板裝置的反應(yīng)器，其特征在于，所述水管為不銹鋼材質(zhì)。

13.如權(quán)利要求1所述的具有遮擋板裝置的反應(yīng)器，其特征在于，所述反應(yīng)器應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積反應(yīng)。

14.如權(quán)利要求13所述的具有遮擋板裝置的反應(yīng)器，所述化學(xué)氣相沉積反應(yīng)為金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積反應(yīng)。

15.如權(quán)利要求1所述的具有遮擋板裝置的反應(yīng)器，其特征在于，還包括：驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置與所述可動(dòng)部件相連，用于驅(qū)動(dòng)所述可動(dòng)部件移動(dòng)，使所述多個(gè)部件具有不同高度的下邊沿。