[發明專利]同步輻射紅外顯微鏡的數值孔徑匹配裝置有效
| 申請號： | 201210096476.0 | 申請日： | 2012-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN102590973A | 公開（公告）日： | 2012-07-18 |
| 發明（設計）人： | 佟亞軍;陳敏;吉特;張增艷;肖體喬 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海應用物理研究所 |
| 主分類號： | G02B7/00 | 分類號： | G02B7/00;G02B7/198;G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 31002 | 代理人： | 鄧琪 |
| 地址： | 201800 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 同步 輻射 紅外 顯微鏡 數值孔徑 匹配 裝置 | ||
1.一種同步輻射紅外顯微鏡的數值孔徑匹配裝置，其特征在于，包括：
相對設置的第一和第二離軸拋物面鏡，兩者具有重合的焦點和重合的旋轉對稱軸，入射光束平行于該旋轉對稱軸入射到第一離軸拋物面鏡上并依次經過第一和第二離軸拋物面鏡反射得到出射光束；
出射光束平移機構，其包括至少一個與第二離軸拋物面鏡相對設置以改變出射光束方向的出射平面鏡，以及用于安裝出射平面鏡的出射平移臺；
離軸拋物面鏡平移機構，其包括用于安裝第一和第二離軸拋物面鏡的離軸拋物面鏡平移臺，離軸拋物面鏡平移臺的運動方向垂直于所述旋轉對稱軸。
2.如權利要求1所述的同步輻射紅外顯微鏡的數值孔徑匹配裝置，其特征在于，所述離軸拋物面鏡平移臺和出射平移臺為一維平移臺。
3.如權利要求2所述的同步輻射紅外顯微鏡的數值孔徑匹配裝置，其特征在于，所述離軸拋物面鏡平移臺和出射平移臺分別包括導軌、沿導軌運動的滑塊以及與滑塊相連的絲杠，第一和第二離軸拋物面鏡或出射平面鏡分別通過卡槽或卡扣固定連接在各自的平移臺的滑塊上，一手柄或電機通過聯軸器與絲杠相連。
4.如權利要求1或2或3所述的同步輻射紅外顯微鏡的數值孔徑匹配裝置，其特征在于，所述第一和第二離軸拋物面鏡的離軸角度為90度。
5.一種同步輻射紅外顯微鏡的數值孔徑匹配裝置，其特征在于，包括：
相對設置的第一和第二離軸拋物面鏡，兩者具有重合的焦點和重合的旋轉對稱軸，入射光束平行于該旋轉對稱軸入射到第一離軸拋物面鏡上并依次經過第一和第二離軸拋物面鏡反射得到出射光束；
出射光束平移機構，其包括至少一個與第二離軸拋物面鏡相對設置以改變出射光束方向的出射平面鏡，以及用于安裝出射平面鏡的出射平移臺；
入射光束平移機構，其包括至少一個與第一離軸拋物面鏡相對設置以改變入射光束方向的入射平面鏡，以及用于安裝入射平面鏡的入射平移臺，入射平移臺的運動方向垂直于所述旋轉對稱軸。
6.如權利要求5所述的同步輻射紅外顯微鏡的數值孔徑匹配裝置，其特征在于，所述入射平移臺和出射平移臺為一維平移臺。
7.如權利要求6所述的同步輻射紅外顯微鏡的數值孔徑匹配裝置，其特征在于，所述入射平移臺和出射平移臺分別包括導軌、沿導軌運動的滑塊以及與滑塊相連的絲杠，入射平面鏡或出射平面鏡分別通過卡槽或卡扣固定連接在各自的平移臺的滑塊上，一手柄或電機通過聯軸器與絲杠相連。
8.如權利要求5或6或7所述的同步輻射紅外顯微鏡的數值孔徑匹配裝置，其特征在于，所述第一和第二離軸拋物面鏡的離軸角度為90度。
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